Gebraucht ABM ABM/8/500/NUV/DCCD/M #293797160 zu verkaufen
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ID: 293797160
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2011
Mask aligner, 8"
NUV / DUV Wavelength
Uniform beam size: 8"
Exposure light source for G-Line, H-Line, I-Line wavelength
Single / Split-field dual CCD Camera alignment system
Single / Split-field microscope alignment system
Double side exposure system
Square area:
< +3% over, 8"
< ±1% over, 4"
< +2% over, 6"
Printing resolution:
<0.5 Micron for vacuum / Hard contact (NUV Exposure)
<0.8 Micron for soft contact
<1 Micron for 50 Micron proximity gap
<2 Micron for 100 micron proximity gap
Alignment accuracy: ± 0.5 micron
500 W for Light source (NUV), 8":
365 nm Output intensity: 18-20 mW/cm²
400 nm Output intensity: 35-40 mW/cm²
436 nm Output intensity: 8-10 mW/cm²
2011 vintage.
ABM ABM/8/500/NUV/DCCD/M ist ein hochentwickelter Maskenausrichter für hochpräzise Photolithographieverfahren in der Mikroelektronik und Halbleiterfertigung. Diese hochmoderne Ausrüstung kombiniert Präzisionsausrichtungsmerkmale, erweiterte Belichtungsfunktionen und innovative Technologien, um den Anforderungen moderner Nanotechnologie-Anwendungen gerecht zu werden. Mit seinen vielseitigen Spezifikationen und seiner hervorragenden Leistung bietet ABM/8/500/NUV/DCCD/M Masken-Aligner eine umfassende Lösung für die Herstellung komplizierter Muster auf Substraten mit höchster Genauigkeit und Konsistenz. Das Hauptmerkmal ABM/8/500/NUV/DCCD/M Maskenausrichters ist die 8-Zoll-Maskengröße, die es Benutzern ermöglicht, mit größeren Substraten zu arbeiten und komplexe Muster mit erhöhter Effizienz zu erstellen. Diese erweiterte Kapazität ist besonders vorteilhaft für Serienumgebungen, in denen Durchsatz und Ertrag kritische Überlegungen sind. Das System bietet auch eine 500W NUV (Near Ultraviolet) Lichtquelle, die eine schnelle Belichtung von Photolackmaterialien mit hoher Auflösung und ausgezeichneter Gleichmäßigkeit über die gesamte Substratoberfläche ermöglicht. Eines der herausragenden Attribute ABM/8/500/NUV/DCCD/M Maskenausrichters ist seine fortschrittliche Ausrichteinheit, die eine ausgeklügelte DCCD (Digital Color Compensation Device) -Technologie beinhaltet. Dieses proprietäre Merkmal erhöht die Ausrichtgenauigkeit, indem es farbbasierte Variationen kompensiert, die während des Ausrichtvorgangs auftreten können, und eine präzise Überlagerung von Maskenmustern auf dem Substrat gewährleistet. Die DCCD-Technologie minimiert effektiv Ausrichtungsfehler und verbessert die Ausbeute und macht die Maschine ideal für Anwendungen, die außergewöhnliche Präzision und Wiederholbarkeit erfordern. Darüber hinaus ist ABM/8/500/NUV/DCCD/M Masken-Aligner mit einem integrierten Mikroskopwerkzeug ausgestattet, das eine Echtzeit-Überwachung und Inspektion von Ausrichtungs- und Belichtungsprozessen bietet. Dank der hochauflösenden Bildgebungsfunktion können Anwender die Ausrichtungsqualität überprüfen, die Belichtungseinstellungen optimieren und Probleme zeitnah beheben, was zu einer verbesserten Prozesskontrolle und Produktivität führt. Das Mikroskop-Asset kann nahtlos mit der Maskenausrichtungssoftware für eine verbesserte Automatisierung und Datenanalyse integriert werden, wodurch Anwender ihren Workflow rationalisieren und mit minimalem manuellen Eingriff konsistente Ergebnisse erzielen können. ABM/8/500/NUV/DCCD/M Maskenausrichter verfügt auch über eine benutzerfreundliche Oberfläche mit intuitiven Bedienelementen und anpassbaren Einstellungen, so dass es sowohl für Anfänger als auch für erfahrene Profis zugänglich ist. Das Modell bietet eine Reihe von Belichtungsmodi, einschließlich Nähe, weichen Kontakt und harten Kontakt, um verschiedenen Substratmaterialien und Verarbeitungsanforderungen gerecht zu werden. Anwender können Belichtungsparameter wie Intensität, Dauer und Ausrichtungsstrategie konfigurieren, um optimale Ergebnisse für verschiedene Lithographieanwendungen zu erzielen, vom Mustertransfer bis zur Dünnschichtabscheidung. Darüber hinaus ist ABM/8/500/NUV/DCCD/M Masken-Aligner mit robuster Konstruktion und zuverlässigen Komponenten ausgelegt, um langfristige Leistung und minimale Ausfallzeiten zu gewährleisten. Die Ausrüstung verfügt über fortschrittliche Sicherheitsmerkmale wie Verriegelungen, Alarme und Nothaltemechanismen, um Bediener zu schützen und mögliche Gefahren während des Betriebs zu vermeiden. Darüber hinaus kann der Maskenausrichter mit Standardverfahren einfach gewartet und kalibriert werden, was seine allgemeine Zuverlässigkeit und Wirtschaftlichkeit für Halbleiterherstellungseinrichtungen erhöht. Insgesamt stellt ABM/8/500/NUV/DCCD/M Masken-Aligner eine hochmoderne Lösung für hochpräzise Photolithographieanwendungen in der Halbleiterindustrie dar. Mit seinen fortschrittlichen Funktionen, seinen vielseitigen Funktionen und seinem benutzerfreundlichen Design bietet dieses System eine unvergleichliche Leistung und Effizienz für die Herstellung komplizierter Muster auf Substraten mit außergewöhnlicher Genauigkeit und Wiederholbarkeit.Ob für Forschung und Entwicklung oder in Großserien - ABM/8/500/NUV/DCCD/M Masken-Aligner ist ein wertvolles Werkzeug, mit dem Anwender überlegene Ergebnisse erzielen und Innovationen in der Mikroelektronik und Nanotechnologie vorantreiben können.
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