Gebraucht BROOKS AUTOMATION PRE-300-CE #9409371 zu verkaufen

BROOKS AUTOMATION PRE-300-CE ist ein Maskenausrichter, der im Halbleiterherstellungsprozess verwendet wird. Der Aligner führt Photolithographie zur Herstellung von integrierten Schaltungschips durch. Es ist der Nachfolger des BROOKS AUTOMATION 300-SF Modells und ist eine vollautomatisierte vorjustierte Ausrüstung, die eine genaue Musterübertragung mit wiederholbaren, konsistenten Ergebnissen erzielt. Der Maskenausrichter besteht aus zwei Hauptkomponenten, einem Multi-Axis Stepping System (MASS) und einer optischen Einheit. Der MASS ist ein sechsachsiger Roboter, der die Masken innerhalb eines Bruchteils eines Mikrons genau positioniert. Die optische Maschine besteht aus einem Maskenbeleuchter, einem Lichtkondensator, einer optischen Linse und einer Waferbühne. Die Optik ist so konzipiert, dass sie eine optimale Belichtungsgleichförmigkeit bietet und dem Werkzeug eine hohe kritische Maßgenauigkeit ermöglicht. PRE-300-CE hat eine Feldgröße von 6-7 cm und eine Auflösung von 0,5-5 µm, abhängig von der verwendeten korrigierten Optik. Das Asset verfügt über einen 0,5/1,0 NA-Beleuchter für Belichtungsgleichförmigkeit, eine optische Belichtung mit niedrigem Energieband und einen verbesserten Verarbeitungsspielraum. Der Maskenbeleuchter ist für 365nm optimiert und verfügt über eingebaute Belichtungsmodulation für eine verbesserte Belichtungssteuerungszeit. Es verwendet eine I-line-Lampe zur Belichtung, mit einem angetriebenen bipolaren Spannungsmodulator zur optimierten Steuerung der Belichtungsdosis über das Belichtungsfeld. Der Aligner verfügt über eine automatische Stapelverarbeitung mit einer eingebauten Speicherkapazität von 150 Masken, die individuell programmiert und gespeichert werden können. Das Modell unterstützt sowohl positive als auch negative Belichtung sowie Die-to-Die und Die-to-Image-Registrierung. Es verfügt über eine automatisierte Kalibrier- und Strahlüberwachungsfähigkeit, die eine schnelle und genaue Ausrichtung der Maskenmuster auf Wafer ermöglicht. BROOKS AUTOMATION PRE-300-CE ist für eine effiziente Bedienung und Benutzerfreundlichkeit mit einer einfach zu bedienenden grafischen Benutzeroberfläche konzipiert. Das Gerät ist mit einem kompletten Werkzeugsatz für die Integration in große Volumen- und Produktionsumgebungen mit hohem Durchsatz ausgestattet. Es ist kompatibel mit einer Vielzahl von Substraten, einschließlich Si, GaAs, InP und SOI, so dass es gut für eine breite Palette von Halbleiteranwendungen geeignet.