Gebraucht BSL / BETA SQUARED LITHOGRAPHY Micralign 542HT #9238460 zu verkaufen

BSL/BETA SQUARED LITHOGRAPHY Micralign 542HT ist ein Maskenausrichter, der für die Kontakt- und Näherungslithographie von integrierten Schaltungen, Sensoren und anderen mikroelektronischen Komponenten entwickelt wurde. Es ist eine automatisierte Mikrolithographie, die es dem Anwender ermöglicht, eine Photomaske exakt auf ein Siliziumsubstrat auszurichten und zu belichten. Das System besteht aus einem Maschinenrahmen, einem Maskenausrichtkopf und einem Vakuumfutter. Der Maschinenrahmen ist aus einer festen Legierung aufgebaut und bietet eine starre Abstützung der Aggregatkomponenten. Es enthält einen pneumatisch betätigten Kipparm, der dazu dient, die Position des Maskenausrichtkopfes einzustellen, die Maske in Position zu drehen und eine präzise, wiederholbare Positionierung zu ermöglichen. Es ist auch mit verstellbaren Füßen ausgestattet, die sicherstellen, dass der Rahmen eben und stabil ist. Der Maskenausrichtkopf ist für die Aufnahme einer Photomaske zur Belichtung mit dem Substrat ausgelegt. Es wird von einer motorisierten X-Y-Stufe angetrieben, die den Kopf mit einer Präzision von bis zu 200 nm und einer Geschwindigkeit von bis zu 20 mm/s entlang der x- und y-Achse bewegt. Der Maskenausrichtkopf ist mit einem druckempfindlichen Infrarot (IR) -Retikulat ausgestattet, das die Photomasken genau lokalisiert. Der Kopf enthält außerdem eine Dual-Focus-Maschine, mit der ein Benutzer die Brennweite der optischen Achse einstellen kann. Das Vakuumfutter ist für die Aufnahme, Ausrichtung und Freigabe des Substrats verantwortlich. Sie besteht aus einer einachsigen Drehstufe und einem Vakuumfutter-Steuermodul. Die Drehstufe wird von einem Schrittmotor angetrieben, der eine präzise und wiederholbare Positionierung des Substrats ermöglicht. Das Vakuumfutter-Steuermodul ist zum Umschalten zwischen Vakuum- und Atmosphärendruckmodus ausgelegt, was eine sichere Befestigung oder Freigabe des Substrats ermöglicht. Das Werkzeug ist mit mehreren Sicherheitssensoren und einem Notabschalter ausgestattet. Die Sicherheitssensoren umfassen Current Overload Protection (COP), um anzuzeigen, wann die Schrittmotoren überlastet sind, +/-2mm Hochdrucksensoren, um anzuzeigen, wann der Maskenhalter die Startposition verlassen hat, und einen Vakuumsensor, der Schwankungen des Vakuumniveaus erkennt. Der Notabschalter ist mit dem Rahmen und dem Motor verbunden und kann im Notfall zum Abschalten der Maschine verwendet werden. BSL Micralign 542HT ist ein fortschrittlicher Maskenausrichter, der entwickelt wurde, um den Durchsatz, die Qualität und die Stabilität während der Mikrolithographie zu verbessern. Die Kombination aus zuverlässiger Rahmenkonstruktion, präziser Ausrichtung und automatisierter Steuerung machen es zu einem idealen Werkzeug für die Kontaktierung und Näherungs-Lithographie der komplexesten integrierten Schaltungen.