Gebraucht CANON MPA 3000W #9393325 zu verkaufen

CANON MPA 3000W
Hersteller
CANON
Modell
MPA 3000W
ID: 9393325
Weinlese: 1999
Mask aligner 1999 vintage.
CANON MPA 3000W Maske Aligner ist eine mittelgroße professionelle Lithographie-Ausrüstung zur Herstellung hochwertiger Halbleiter. Dieses System verwendet ein Kontaktausrichtungsverfahren zur präzisen Maskierung zur Waferausrichtung, um eine hohe Genauigkeit und Auflösung zu erreichen. CANON MPA-3000 W Maske Aligner verfügt über eine große Belichtungsfläche für große Waferbearbeitung und gleichmäßige Belichtung über die gesamte Oberfläche. Das Gerät ist mit einem 6-Zoll-Hauptausrichtverfahren ausgestattet, das eine 0,5-Mikron-Auflösung verwendet, die weniger als 1 Mikron Genauigkeit liefert. Es verfügt auch über einen automatischen Pin-Positionsdetektor, der die Pin-Position misst und jede erforderliche Korrektur berechnet, um eine ordnungsgemäße Positionierung des Wafers zu gewährleisten. Die 3-Zoll-CCD-Kamera mit 0,1 Mikrometer Auflösung ermöglicht die Ausrichtung auf das gewünschte Maskenmuster bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen. MPA 3000W Maske Aligner hat auch eine automatische Mikroskop-Beleuchtungsmaschine, die die Inspektion des Belichtungsmusters genauer macht. Es ist mit einem programmierbaren Interferometerwerkzeug ausgestattet, das die Stabilität der Ausrichtung vor der Belichtung überprüft. Ein hochauflösender Expositionsmonitor überwacht die Expositionsdosis und -zeit. Die Anlage verfügt auch über eine Hochgeschwindigkeits-Luftlagerstufe für einen schnelleren Waferaustausch, die Zykluszeit reduziert und den Durchsatz verbessert. MPA-3000 W Mask Aligner ist ein vielseitiges, kostengünstiges Lithografiemodell, das eine umfassende Anlagenintegration für Maske zu Waferbelichtung und Ausrichtung bietet. Es verfügt über ein benutzerfreundliches Design und einfach zu bedienende Bedienelemente, die Geräteaufbau und Bedienung einfach macht. Seine fortschrittlichen Eigenschaften machen es für Forschung und industriellen Einsatz geeignet.
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