Gebraucht CANON MPA 500 Fab #9144945 zu verkaufen

CANON MPA 500 Fab
Hersteller
CANON
Modell
MPA 500 Fab
ID: 9144945
Wafergröße: 4",5"
Mask aligners, 4" and 5".
CANON MPA 500 Fab ist ein fortschrittlicher Maskenausrichter, der einen qualitativ hochwertigen und wiederholbaren Kontaktdruck von lichtempfindlichen Resists bietet. Dieses Gerät bietet modernste Technologie für die Photolithographie-Verarbeitung, die die Übertragung von Mustern von einer Maske auf ein Substrat ermöglicht. Die Hauptmerkmale von CANON MPA 500FAB schließen eine hohe Geschwindigkeit, hohe Präzisionsmehrpixeldickebewegungseinheit, ein autokorrigiertes kaltes Kreisbogenbildaufbereitungssystem, Präzisionsanordnung für den Kontaktdruck, eine ergonomische Substratanordnung und Vereinbarkeit mit dem verschiedenen ein, widerstehen Materialien. Darüber hinaus bietet dieser Masken-Aligner Prozessintegration und Feinausrichtung, automatisierten elektrischen Testdruck, eine Reduzierung der Fehlausrichtung zwischen den Schichten und eine einfach zu bedienende Benutzeroberfläche. MPA-500FAB ist für erweiterte Kontaktdruckaufgaben und Feinabstandsausrichtung konzipiert. Mit einer Auflösung von 5 Mikrometern und einer Bewegungseinheit, die das Substrat in Abständen von einem Tausendstel eines Pixels bewegen kann, bietet CANON MPA 500-FAB eine überlegene Genauigkeit für den Produktionsstufenkontaktdruck. Das Design der ergonomischen Substratausrichtung ermöglicht eine schnelle und präzise Ausrichtung des Substrats, wodurch die Produktionszeiten bei hoher Genauigkeit reduziert werden. Die Substratausrichteinheit ermöglicht eine parametrische Steuerung der Substratposition mittels Koordinaten, wodurch eine automatisierte Fein- und Grobteilungsausrichtung für den Kontaktdruck ermöglicht wird. MPA 500 Fab bietet Verträglichkeit mit verschiedenen Resists, darunter Photoresist, organisch-freies Harz und leitfähige Oxide, sowie verschiedene Substratmaterialien wie Glas, Quarz und Si-Wafer. Die Maschine ermöglicht eine genaue Musterübertragung mit einer Vielzahl von Maskentechnologien wie binären, abgeschwächten trapezförmigen und antialiasierten Bildern. CANON MPA-500FAB verfügt auch über ein modernes autokorrektes Kaltbogenbildgebungswerkzeug, das eine hochauflösende Bildgebung für feine Funktionsauflösungen ermöglicht. Dieses bildgebende Element kann sowohl für den Kontaktdruck als auch für die direkte Bildgebung verwendet werden, um feine Muster auf verschiedenen Substraten zu erzeugen. Das automatisch korrigierte Kaltbogenbildmodell sorgt für eine gleichmäßige Ausleuchtung und verbessert die Geradheit der Muster. Darüber hinaus umfasst MPA 500FAB eine integrierte Prozesssteuerung und Sensordiagnose, die ein effizientes Produktionsablaufmanagement ermöglicht. Diese Ausstattungsmerkmale bieten konsistente und wiederholbare Ausrichtungen mit hoher Genauigkeit. MPA 500-FAB ist entworfen, um überlegene Qualität, wiederholbare und genaue Kontaktdruck für fortgeschrittene elektronische Geräteherstellungsaufgaben zur Verfügung zu stellen. Dieses System bietet eine Vielzahl von Vorteilen, darunter verbesserte Prozessintegration und Feinausrichtung, automatisierter elektrischer Testdruck und Kompatibilität mit einer Reihe von Resistmaterialien und Substraten.
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