Gebraucht CANON MPA 500 Fab #9193702 zu verkaufen

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CANON MPA 500 Fab
Verkauft
Hersteller
CANON
Modell
MPA 500 Fab
ID: 9193702
Wafergröße: 5"
Mask aligners, 5".
CANON MPA 500 Fab ist ein vollautomatischer Wafer-Masken-Aligner mit hohem Durchsatz, der entwickelt wurde, um eine optimale Produktion von Geräten in einer Vielzahl von Wafergrößen und Anwendungen bereitzustellen. Die Ausrüstung nutzt CANON proprietäre MPA Fab Technologie, die Lithographie und Ausrichtung von extrem kleinen Merkmalsgrößen mit hoher Präzision ermöglicht. CANON MPA 500FAB verfügt über einen Hochdurchsatz-Produktionsprozess, der hohe Ausrichtungsgeschwindigkeitsgenauigkeit und Durchsatz mit unübertroffener Präzision bietet. Das fortschrittliche Flying Laser Alignment System (FLA) bietet eine schnelle und präzise Ausrichtung der lasergehobenen Waferfunktionen mit Standardmaskierungsdaten und die IR-Laserbildtechnologie erfasst sowohl das Ausrichtungsziel als auch die Maskendaten in hoher Auflösung genau. Die Einheit zeichnet sich durch eine ausgeklügelte Abbildungsmaschine aus, die das Ausrichtziel aus der Maske detektiert und etwaige Ungleichmäßigkeiten im Blickfeld kompensiert. Das Tool kann auch mit einer Multi-Scan-Option für schnelle Single-Shot-Belichtungen konfiguriert werden. Das Asset verfügt ferner über ultrakurze Pulsdauer-Laserdiodenbelichtungssysteme, die eine präzise Steuerung von konstruktiven Details ermöglichen. Seine einstellbare Wellenfrontausbreitung gewährleistet eine exakte Kontrolle und Gleichmäßigkeit der Laserbelichtung. MPA-500FAB bietet auch ein spezielles Resistbeschichtungsmodell, das elektrische Abbildungsbedingungen für eine Vielzahl von Materialien wie Polysilizium, ITO und organische Polymere gewährleistet. Insgesamt ist MPA 500-FAB ein ultraschneller Maskenausrichter, der präzise und präzise Lithographieverfahren liefert. Sein einzigartiges Feature-Set ermöglicht es, Geräte in einer Vielzahl von Wafergrößen und Anwendungen effizient und präzise zu produzieren. Für mehr Produktivität und Kosteneinsparungen lassen sich die Anlagen problemlos in bestehende Produktionslinien integrieren.
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