Gebraucht CANON MPA 500 Fab #9269097 zu verkaufen

CANON MPA 500 Fab ist ein hochpräziser Maskenausrichter zur Ausrichtung und Photolithographie von Halbleiterscheiben. Es ist in der Lage, bis zu acht Wafer in der gleichen Belichtungsdauer auszurichten und ist für die Präzisionskontrolle mit einer hohen Genauigkeit ausgelegt. Die optische Ausstattung bietet einen präzisen Ausrichtbereich von ± 30 μ m bei einer maximalen Abweichung von ± 15 μ m. CANON MPA 500FAB ist für den Einsatz in kontrollierten Reinraumumgebungen konzipiert, mit einem luftdichten staubfreien Design und einer speziellen versiegelten Keramiktür. Das Gerät kann eine einstellbare Fokustiefe zwischen 0 und 2 mm und ein maximales Fokusobjektiv mit einem Zahlenwert von 0,5x bereitstellen. Während des Betriebs werden die Luft und das innere Gehäuse des Aligners alle durch ein dreistufiges Entstaubungssystem gefiltert, um eine hochwertige Umgebung zu gewährleisten. Eine Ionenstrahlquelle sorgt für strenge Sauberkeit, indem Elektronen direkt auf den Wafer beschleunigt werden, um kontaminierende Partikel zu eliminieren. MPA-500FAB ist einfach mit benutzerfreundlichen grafischen Benutzeroberflächen zu bedienen. Seine eingebauten Mustergeneratoren ermöglichen es den Betreibern, schnell ihre eigenen maßgeschneiderten Nähkarten mit mehreren Masken- und Fotomaskenmustern zu erstellen. Es bietet auch schnelle Schreib-, Belichtungs- und Ausrichtungsalgorithmen für einen Hochgeschwindigkeits- und kostengünstigen Belichtungsprozess. Es ist sowohl für ein- als auch mehrschichtige Belichtung geeignet und kann eine großflächige Belichtung von bis zu 225 mm oder einen kleinen belichteten Bereich von bis zu 6,4 mm erzeugen. CANON MPA-500FAB ist auf Flexibilität ausgelegt und mit einer breiten Palette von Resistmaterialien kompatibel, einschließlich positiver und negativer Resiststoffe. Es verfügt über einen UV-Aligner, kombiniert mit einer minimalen Funktionsgröße von 0,2 μ m, wodurch feinere, sauberere Masken mit Submikron-Präzision erstellt werden können. CANON MPA 500-FAB ist auf Präzision und Zuverlässigkeit mit geringen Ausfallwahrscheinlichkeiten ausgelegt. Sein Gehäuse besteht aus hochwertigem Edelstahl und wurde abgedichtet, um zu verhindern, dass luftgetragene Partikel in das Gerät gelangen. Es ist auf Geschwindigkeit und Energieeffizienz bei geringem Energieverbrauch und einem kurzen Prozesszyklus ausgelegt. Es verfügt auch über eine Selbstdiagnose-Maschine, um Feedback zu geben, wenn irgendwelche Probleme auftreten, helfen, die Leistung zu erhalten und zu verbessern und Ausfallzeiten zu verhindern.