Gebraucht CANON MPA 500 Fab #9373199 zu verkaufen

CANON MPA 500 Fab
Hersteller
CANON
Modell
MPA 500 Fab
ID: 9373199
Wafergröße: 2"
Mask aligner, 2".
CANON MPA 500 Fab ist ein Masken-Aligner, der hohe Treue und hochpräzise photolithographische Prozesse erzeugen kann. Es verfügt über die neueste optische Ausrichtungstechnologie und ist in der Lage, eine Positionsgenauigkeit von 20 µm bei einer Ausrichtzeit von 8 Sekunden zu erreichen. Die digitale Signalverarbeitungstechnologie ermöglicht eine ultimative Ausrichtgenauigkeit mit einer Wiederholbarkeit von 0,5 µm in X- und Y-Achsenrichtung. Das Gerät ist mit einem fortschrittlichen Multilinsen-Bildgebungssystem und mikroskopischen Objektiven ausgestattet, um im schlimmsten Fall eine Chip-Chip-Ausrichtungsgenauigkeit mit +/- 3 µm zu erreichen. Es ist entworfen, um die Verzerrung des Maskenbildes zu minimieren, die verschiedene rotierende Belichtungskonfigurationen zwischen Maske und Chip für gleichmäßig verteilte Belichtungswiederholbarkeit ermöglicht. Die Einheit ist auch so ausgelegt, dass akkumulative Fehler minimiert werden, die zu einer Aberration des Maskenmusters führen können, indem die Ausrichtung nach jeder Belichtung zurückgesetzt wird. CANON MPA 500FAB verwendet eine integrierte Belichtungsdatenbank, die bis zu 20 programmierbare Belichtungsparameter und Belichtungsdauer ermöglicht und einen hohen Durchsatz mit wiederholbaren Ausrichtungsergebnissen bietet. Seine benutzerfreundliche grafische Oberfläche bietet sofortiges Feedback und ermöglicht eine schnelle Programmierung des Ausrichtungsprozesses. Die Maschine verfügt über ein Offline-Ausrichtungs- und Off-Axis-Beleuchtungswerkzeug für die Ausrichtung von Stempel- oder Non-Through-Hole-Geräten. Es kommt mit einem großen Display und ergonomischen Panels für einfache Bedienung. Das Asset umfasst einen Mikrocontroller, der Standard-nichtflüchtigen Speicher für die Speicherung von bis zu 10 Fotos und 60 Ausrichtungen enthält. MPA-500FAB unterstützt eine Vielzahl von Wafergrößen von 25mm bis 200mm. Das Modell ist in einem modernen, schlanken Design mit integriertem Staubmanagement eingeschlossen. Insgesamt ist CANON MPA-500FAB eine zuverlässige, einfach zu bedienende und intuitive Lösung für den Photolithographieprozess mit hervorragender Leistung und Genauigkeit. Es bietet Vielseitigkeit, Geschwindigkeit und Effizienz, die den anspruchsvollen Anforderungen der modernen Chipherstellung gerecht wird.
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