Gebraucht CANON MPA 500 Fab #9410722 zu verkaufen

CANON MPA 500 Fab ist ein fortschrittlicher Maskenausrichter, der bei der Herstellung von integrierten Schaltungswafern (IC) verwendet wird. Dieses Gerät verwendet einen präzisen, automatisierten Ausrichtungsprozess, der die Notwendigkeit einer manuellen Ausrichtung von Photomasken und IC-Wafern erleichtert. CANON MPA 500FAB verwendet eine hochauflösende Videoprüfanlage und ein berührungsloses Verschiebungserkennungssystem, um eine präzise Ausrichtung der sichtbaren Marker und präzise Mustergrenzen zu gewährleisten. Der Masken-Aligner ist so ausgelegt, dass die Flachheit des Wafers während des Ausrichtungs- und Lithographieprozesses erhalten bleibt. Die Vorrichtung weist ferner eine präzise Strahlabtast- und Positioniereinheit auf, die einen reibungslosen Übergang zur Präzisionsüberlagerung ermöglicht. MPA-500FAB ist mit einer hochpräzisen Stufe ausgestattet, die schnelle Scangeschwindigkeiten und genaue Positionierung bietet. Darüber hinaus verfügt das Gerät über eine hochpräzise Fokus-Servomaschine, die es ermöglicht, den Strahl im richtigen Musterbereich mit hochgenauen Ergebnissen zu fokussieren. Der Maskenausrichter ist mit einem CCD-Bildgebungswerkzeug und einer Mehrwellenlängenbeleuchtung ausgestattet, die eine nahtlose Schichtausrichtung ermöglicht. Darüber hinaus ist das Gerät in der Lage, bis zu 100nm Linien- und Raummuster zu belichten und hat eine maximale Belichtungsfläche von 200mm x 200mm. Um eine schnelle, genaue und präzise Belichtungsgenauigkeit zu gewährleisten, umfasst das Gerät ein Mehrzonen-Belichtungssteuerungsmodell und eine hochauflösende Autokorrekturausrüstung. CANON MPA 500-FAB ist in der Lage, mit einem Durchsatz von 120 Wafern pro Stunde bei hohem Durchsatz zu arbeiten. Das Gerät ist in der Lage, mehrere Belichtungsprozesse in einem Zyklus abzuschließen, so dass es für die Massenproduktion in großen Mengen geeignet ist. Das Gerät benötigt nur eine minimale Wartung, nutzt eine einfache Benutzeroberfläche und erfüllt ANSI-Sicherheitsstandards für langfristige Zuverlässigkeit.