Gebraucht CANON MPA 500 #9275353 zu verkaufen

CANON MPA 500
Hersteller
CANON
Modell
MPA 500
ID: 9275353
Mask aligner Type: Fab.
CANON MPA 500 Maske Aligner ist eine industrielle Lithographie-Ausrüstung, die zur Herstellung mikroelektronischer Präzisionskomponenten verwendet wird. Es ist die genaueste und vielseitigste Maske Ausrichter zur Verfügung, bietet die höchste erreichbare Auflösung, Genauigkeit und Leistung. MPA 500 ist mit einem fortschrittlichen Mehrpunkt-Ausrichtungssystem ausgestattet und wird mit einer Vielzahl von hochpräzisen Messwerkzeugen vorkonfiguriert, um eine optimale Positionierung der Masken über dem Wafer zu gewährleisten. Das Gerät kann Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 8 Zoll sowie bis zu zwei verschiedenen Maskengrößen unterstützen. CANON MPA 500 verfügt über eine hocheffiziente Vakuumfunktion, die eine sichere und gleichbleibende Griffigkeit der Masken auch bei der Handhabung großer Masken ermöglicht. Die Maschine verfügt über eine integrierte Laserausrichtungsfunktion zur genauen Platzierung der Masken über dem Wafer. Neben seinen hochpräzisen Ausrichtungsmöglichkeiten bietet MPA 500 auch eine hochauflösende UV-Belichtung und eine schnelle Hochgeschwindigkeitsentwicklung der Masken. CANON MPA 500 ist in der Lage, die Überlagerungstoleranz präzise einzustellen und eignet sich somit für anspruchsvolle Mikroelektronik-Anwendungen. Das fortschrittliche Design von MPA 500 bietet eine präzise Steuerung der Belichtungsparameter, so dass genaue Belichtungsparameter leicht erreicht werden können. Darüber hinaus verfügt es über eine Reihe relevanter Funktionen zur präzisen und präzisen Prozesssteuerung, darunter eine vollständige homogene Burststufensteuerung, einen präzisen maximalen Belichtungszeitgeber und ein Mehrpunkt-Scanwerkzeug zur präzisen Ausrichtung. Darüber hinaus bietet die Anlage Kompatibilität mit einer Vielzahl von Prozessmaterialien, wie Glasschmelzen, Wärmebildtechnik und Ätzen in Silizium. CANON MPA 500 bietet auch erweiterte Fehlerinspektionsmöglichkeiten. Die Fehlerliste enthält mehr als 1000 vordefinierte Fehlerfahnen und kann umfassend an die Bedürfnisse des Benutzers angepasst werden. Das Modell umfasst auch ein erweitertes Wafer-Web-Analyse-Modul und eine Ausrichtungsausrüstung, um Fehler auf dem Wafer zu erkennen und zu identifizieren. Es kann Fehler sowohl in montiertem als auch in nicht montiertem Zustand analysieren. In Bezug auf die Sicherheit ist MPA 500 mit einer Reihe von Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, wie ein Schlüssel-Schloss-System, antistatische Vorhänge, Licht- und Drucksensoren und eine Rauchfiltereinheit. Es enthält auch eine Reihe von Komponenten, um das Risiko von Geräteschäden zu reduzieren, einschließlich Staubfilter, Bodenstörungsunterbrecher und Impulssensoren. Insgesamt ist CANON MPA 500 einzigartig in seiner Fähigkeit, die besten Ergebnisse für Mikroelektronik-Anwendungen zu liefern.
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