Gebraucht CANON MPA 500FA #293818858 zu verkaufen

CANON MPA 500FA
Hersteller
CANON
Modell
MPA 500FA
ID: 293818858
Aligner.
CANON MPA 500FA ist ein Maskenausrichter, der in der Halbleiterindustrie für photolithographische Prozesse eingesetzt wird. Er richtet Photomasken und Wafer präzise aus und richtet sie aus, um einen qualitativ hochwertigen Mustertransfer auf den Wafer zu erhalten. CANON MPA-500FA ist ein flexibles, robustes und fortschrittliches Präzisionsmasken-Ausrichtgerät, das eine hervorragende Ausrichtgenauigkeit bei hohem Durchsatz ermöglicht. Das System bietet während des gesamten Musterprozesses Servosteuerung, um sicherzustellen, dass alle Komponenten exakt ausgerichtet sind. MPA 500 FA verfügt über eine erweiterte Sensormoduleinheit (SMS) bestehend aus Bilderkennungskameras, Scans, Kreisen und einem Autofokus-Objektiv zur Echtzeitausrichtung von Photomaske und Wafer. Darüber hinaus bietet die Maschine ein breites Spektrum an Musterlösungen von Standard- bis feinauflösenden Linien, Konturen und Formen auf verschiedenen Arten von Substraten, einschließlich Resist, Spin-on-Glass und amorphem Silizium. Das Tool wird durch eine zuverlässige und einfach zu bedienende Benutzeroberfläche mit intuitiver Bedienung und Funktionen angetrieben. Die grafische Oberfläche zeigt ein Echtzeitbild des Aligners an und hilft Benutzern, Komponenten genau und zuverlässig auszurichten. MPA 500FA ist auch mit einer fortschrittlichen Verarbeitungsmaschine ausgestattet. Es stellt sicher, dass das Asset auch bei großen Mengen an Waferdaten und hochauflösenden Bildern reibungslos und schnell laufen kann, was den Durchsatz weiter verbessert. Hinsichtlich der Präzisionsausrichtung bietet MPA-500FA eine hochgenaue Waferausrichtung bis hin zu Einzelmikron-Auflösungen. Darüber hinaus ist es in der Lage, eine ausgezeichnete Overlay-Genauigkeit und -Tiefe zu erreichen, mit einer genauen Registrierung zwischen dem Maskenbild und dem Waferbild. Darüber hinaus können präzise Laser-Strahl-Ausrichtung und Präzisionseinspeisung die höchste Genauigkeit der Maskenplatzierung auf dem Wafer gewährleisten. Darüber hinaus verfügt das Modell über eine automatische Kantenerkennungsfähigkeit und ist in der Lage, die Belichtungszeit genau zu steuern. CANON MPA 500 FA bietet hervorragende Musterreproduzierbarkeit und eine breite Palette von Musterlösungen und bietet gleichzeitig Möglichkeiten zur Musterverlagerung. Insgesamt ist CANON MPA 500FA ein fortschrittliches Maskenausrichtgerät, das hohe Genauigkeit und Durchsatz für Photolithographie-Prozesse bietet. Mit der zuverlässigen Benutzeroberfläche, der hervorragenden Overlay-Genauigkeit, der präzisen Laserstrahl-Ausrichtung und der Verlagerung von Mustern bietet CANON MPA-500FA eine hervorragende Wiederholbarkeit von Mustern.
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