Gebraucht CANON MPA 500FA #9226333 zu verkaufen

CANON MPA 500FA ist ein Maskenausrichter für die Massenproduktion der Halbleiterbauelementherstellung. Es ist eine vollautomatische Ausrüstung, die hohe Prozessgenauigkeit und Durchsatz bietet. CANON MPA-500FA wurde auf Basis eines Vierpunkt-Belichtungssystems mit einer Xenon-Lampe entwickelt. Die Belichtungseinheit verwendet zwei rubinverstärkte Quarzhalogenlampen zur gleichmäßigen Beleuchtung und zwei motorisierte optische Entlenkungssysteme zur Hochgeschwindigkeitsausrichtung. Die Maschine ist in der Lage, bis zu fünf 1x1 oder vier 4x4 Wafer pro Charge zu verarbeiten, und ist mit einem Indexer für Hochgeschwindigkeitsrotation und einer 10-Sekunden-Rücksetzzeit ausgestattet. MPA 500 FA wird mit einem Hochgeschwindigkeitsmusteranerkennungswerkzeug und Bildverarbeitungsalgorithmen für die Anordnung von Oblaten mit Nanoskalabedeckungen ausgestattet. Die Waferausrichtung wird durch Scannen eines linearen CCD-Arrays mit digitalem Schattenmaskenprozessor erreicht. Dieser Prozessor ist für die Erkennung und Erkennung von Ausrichtungsmarken zuständig und ist in der Lage, kleinere Variationen in der Struktur jedes Wafers zu korrigieren. Darüber hinaus ist MPA-500FA mit einer 8-Positionen-Autofokussierung ausgestattet, die eine hohe Genauigkeit bei Überlagerungsmessungen ermöglicht. CANON MPA 500 FA bietet ausgezeichnete Overlay-Genauigkeit, bis zu 0,53 Mikrometer mit 85nm Wellenlänge und verfügt über ein automatisiertes Prozesssteuerungsmodell, das wiederholbare Belichtungseigenschaften erzeugt. Das Gerät unterstützt eine Reihe von Prozessen, einschließlich Kontakt-, Projektions- und Rasterelektronenstrahllithographie. Eine Scannerplatte ermöglicht bis zu zehn Schichten transparenter Folien oder Platten pro Verfahren. MPA 500FA ist kompatibel mit den meisten Standardbelichtungsmaterialien und kann bei Temperaturen bis zu 105 ° C arbeiten.CANON MPA 500FA ist eine wirtschaftliche Lösung für massenhafte Halbleiterbauelemente und kann problemlos in bestehende Produktionssysteme integriert werden. Das System bietet effiziente und zuverlässige Leistung und kann an die spezifischen Anforderungen der Geräteherstellung angepasst werden. Die intuitive Benutzeroberfläche und leistungsstarke Funktionen machen es zu einer idealen Wahl für die Herstellung hochgenauer optischer Komponenten.