Gebraucht CANON MPA-600/500 #293606556 zu verkaufen
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ID: 293606556
Mask aligner
CTC Unit
Thermocouple probe
Hose, 6"
Lamp cooling fan
Hoses
Metal elbow.
CANON MPA-600/500 Exposure Equipment ist ein hochmotorisiertes, zuverlässiges Belichtungssystem für eine Vielzahl von photolithographischen Prozessen. Die Einheit besteht aus einem erweiterten Mehrfachbelichtungskopf, einem Belichtungsregler, einer hochpräzisen mechanischen Stufe und einem Vakuumtisch. Der Belichtungskopf ist mit zwei Lampenläden, genau gesteuerten verstellbaren Prallblechen und einer Verriegelungsmaschine ausgestattet, die jeweils nur eine Belichtung gewährleistet. Der Belichtungsregler ist der wichtigste Bestandteil des Werkzeugs. Es nimmt Benutzerbefehle auf und steuert den Belichtungsprozess. Es kann die Position, Belichtungszeiten, Energieniveaus und Mehrfachbelichtungsüberschneidungen anpassen. Es erkennt auch Out-of-Limits-Bedingungen und ermöglicht spezielle Betriebsmerkmale. Der Belichtungsregler verfügt über automatische Sicherheitseinrichtungen, die die Exposition stoppen, wenn bestimmte vordefinierte Kriterien nicht erfüllt sind. Die Präzisionsmechanikstufe wurde entwickelt, um eine genaue Positionierung des Wafers zu gewährleisten und sicherzustellen, dass er während des Belichtungsprozesses sicher gehalten wird. Die Bühne verwendet Linear- und Drehgeber, um ihre Position genau zu messen und zu steuern. Es kann auch programmiert werden, um mehrere Belichtungsachsen-Offsets zu ermöglichen. Der Vakuumtisch, der sich über dem Belichtungsregler befindet, ist dafür verantwortlich, den Wafer während des Belichtungsprozesses sicher zu positionieren und fest zu erfassen. Es ist auch in der Lage, eine gleichmäßige Belichtung über die gesamte Waferoberfläche aufzubringen. Der Tisch ist temperaturgeregelt und vakuumdicht, so dass Luft und Feuchtigkeit den Belichtungsprozess nicht stören. Das MPA-600/500 Exposure Asset ist die perfekte Lösung für photolithographische Prozesse, die eine präzise Belichtung großer Wafer erfordern. Die Kombination fortschrittlicher Komponenten sorgt für genaue Expositionen, die den aktuellen Industriestandards entsprechen. Das Modell wird von den weltweit führenden Halbleiterherstellern auf Herz und Nieren getestet und vertraut.
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