Gebraucht CANON MPA 600 FA #190737 zu verkaufen

CANON MPA 600 FA ist ein automatisierter Maskenausrichter, der zur Herstellung von integrierten Schaltungen (ICs) mit höchster Qualität verwendet wird. Die hochpräzise Ausrüstung ermöglicht eine hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit. Es ist mit einem 6-Zoll-Spaltfeld-Projektionsaligner, einer langlebigen Ionenstrahlquelle und einem hochauflösenden Foto-Target ausgestattet. CANON MPA600FA verfügt über einen Spaltfeldprojektionsausrichter, der eine genaue, wiederholbare, hochpräzise Ausrichtung zwischen der Lithographiemaske und dem Zielsubstrat ermöglicht. Dies gewährleistet eine möglichst hohe Registergenauigkeit und -treue während des Druckprozesses. Das System verfügt zudem über eine langlebige Elektronenstrahlquelle, die eine saubere und zuverlässige Lithographie im 200mm IC-Produktionsprozess ermöglicht. MPA-600FA enthält auch ein Foto-Ziel, um Ausrichtungsparameter mit überlegener Genauigkeit und Wiederholbarkeit zu messen. Die Elektronenstrahl-Lithographieeinheit arbeitet mit sehr hohen Geschwindigkeiten und ermöglicht Prozessspuren bis 110 µm sowie eine Maskenplatzierungsgenauigkeit von bis zu 0,1 µm. Das Gerät verfügt auch über eine integrierte optische Videomaschine für einfache Einrichtung, Ausrichtung und Wartung. CANON MPA 600FA verfügt über eine Vielzahl benutzerfreundlicher Funktionen wie vier Programme, mit denen Benutzer bis zu vier verschiedene Arten von Masken-Wafer-Ausrichtungen speichern können. Das Tool verfügt auch über erweiterte Datenverarbeitungsfunktionen und bietet Benutzern Echtzeit-Kennzahlen für die Prozessleistung. Ein integrierter statistischer Prüfdiagramm ermöglicht auch eine schnelle Datenanalyse und Feinabstimmung für FABs, die ein Höchstmaß an Prozesskontrolle erfordern. Insgesamt ist MPA 600 FA mit seinen extrem präzisen IC-Produktionskapazitäten ein anerkannter Marktführer in der Lithographie-Produktion. Die langlebige Ionenstrahlquelle, das hochauflösende Photo-Target und die Geschwindigkeit und Genauigkeit der Ausrichtung machen es zum Marktführer in der reproduzierbaren Produktion integrierter Schaltungen innerhalb der Halbleiterindustrie.