Gebraucht CANON MPA 600 FA #293609496 zu verkaufen

CANON MPA 600 FA ist ein vollautomatischer Stepper-Scanner-Aligner, der in der Photolithographie der Halbleiterbauelementherstellung eingesetzt wird. Es ist ein Masken-Aligner, der ein auf einer Fotomaske definiertes Muster genau auf einen belichteten, photoresistbeschichteten Wafer ausrichten kann. Dies geschieht, indem das Muster aus der Maske auf den mit Fotolack bedeckten Wafer projiziert und das Bild auf den Wafer übertragen wird. CANON MPA600FA verfügt über ein intelligentes Dual-Area-Scanning-System zur präzisen Registrierung und Ausrichtung und ist damit ideal für präzise Anwendungen zur Herstellung von Halbleiterbauelementen. Es verfügt über eine LED-basierte Lichtquelle, die eine ausgezeichnete Helligkeit für eine verbesserte Designauflösung und Mustertreue bietet. Eine integrierte automatische Inspektionsfunktion ermöglicht die automatische Erkennung einer optimalen Ausrichtungsposition. Zu den Definitionsmerkmalen der Maschine gehören der hohe Durchsatz, die Genauigkeit und die Positioniergenauigkeit. MPA-600FA verfügt über eine ± 6 μ m Laserausrichtungsgenauigkeit, die ihm präzise Ausrichtungsmöglichkeiten verleiht. Darüber hinaus unterstützt das System eine breite Palette von Substraten, wie Glas, Siliziumwafer und Quarzsubstrate. Die integrierte Auto-Inspect-Funktion ermöglicht die Erkennung von Defekten und kleinen Partikelgrößen beim Scannen großer Substrate. Das System kann 8 Zoll bis 12 Zoll-Substrate verarbeiten, ohne dass Anpassungen erforderlich sind. Darüber hinaus verfügt CANON MPA-600FA über eine optomechanische Verpackung, die eine feine Ausrichtung durch Laserinterferometrie ermöglicht und eine genaue Ausrichtung der Maske auf die Waferüberlagerung ermöglicht. Es verfügt auch über digitale Netzwerkfunktionen, die eine Fernbedienung der Maschine ermöglichen. Darüber hinaus unterstützt es CAD-basierte Dateneingaben für die Maskenherstellung und Konstruktionsprüfung. Die Maschine ist ATE bereit und bietet eine integrierte Steuerung zwischen ATE und Aligner. Insgesamt ist CANON MPA600-FA ein idealer Maskenausrichter für eine zuverlässige und präzise Herstellung von Halbleiterbauelementen. Mit seinem breiten Spektrum an Funktionen, flexibler Substratunterstützung und Genauigkeit bietet es Herstellern konsistente und präzise Ergebnisse.