Gebraucht CANON MPA 600 FA #293625511 zu verkaufen

CANON MPA 600 FA
Hersteller
CANON
Modell
MPA 600 FA
ID: 293625511
Mask aligner.
CANON MPA 600 FA ist ein Hochleistungs-Maskenausrichtgerät, das zur Durchführung von Musterprozessen bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen entwickelt wurde. Dieses System verfügt über einen automatisierten Hochgeschwindigkeits- und Hochpräzisionsmechanismus zur Registrierung von Schnittmasken. Das Gerät verwendet eine Kombination aus Luftlagerstufen, Laserinterferometern und Servopositionierung und -ausrichtung, die sowohl die XY- als auch die Drehachse gleichzeitig steuert. CANON MPA600FA Maschine verfügt über hohe Genauigkeit Präzision und Wiederholbarkeit in Musterausrichtung und ermöglicht eine unabhängige vertikale Bewegung der Bühne, so dass es einfach, Sonden, Stifte und andere Musterwerkzeuge zu handhaben. Das Tool verfügt außerdem über eine hochauflösende und kontrastreiche Bildverarbeitungseinrichtung, die es ermöglicht, die Elemente im Muster genau zu erkennen und zu messen. Das fortschrittliche optische Modell mit 6x F-Theta-Objektiv bietet eine hochwertige Bildgebung, die eine präzise Kantenausrichtung von Photomasken gewährleistet. Das Gerät verwendet eine Luftlagerstufe, die eine glatte und schwingungsarme Stufenbewegung bietet, um eine hochgenaue Ausrichtungs- und Druckleistung zu gewährleisten. Es erleichtert auch die einfache Wartung und bietet langfristige Zuverlässigkeit und Umweltbeständigkeit. Das System gewährleistet eine präzise Platzierung von Mustern auf dem Substrat mit einer Positionsgenauigkeit von 0,5 µm. MPA-600FA Einheit bietet auch eine Vielzahl von High-End-automatisierten Funktionen, wie Maskenherstellung, Musterung, Sputter-Abscheidung, Photoresist-Beschichtung und Ätzprozesse. Diese Maschine bietet auch eine Quick Aligner™-Funktion, in der Lage, schnell erkennen und korrigieren Sie jede Fehlausrichtung von Mustern innerhalb weniger Sekunden für schnelle und genaue Ergebnisse. Darüber hinaus bietet CANON MPA 600FA eine breite Palette von Softwareoptionen und Funktionen zur Unterstützung einer automatisierten und einheitlichen Prozesssteuerung. Es verfügt über eine intuitive Softwareschnittstelle für einfache Werkzeugeinrichtung und Programmierung, es kann auch in bestehende Software- und Hardwaresysteme integriert werden, die eine einfache Integration und Bedienung ermöglichen. Das CANON CANON MPA-600FA Asset wurde entwickelt, um eine schnelle, genaue und wiederholbare Fotomasken-Ausrichtung durchzuführen und eine stabile Produktionsleistung zu ermöglichen. Es eignet sich für eine Vielzahl von elektronischen und optoelektronischen Anwendungen und ist eine zuverlässige und leistungsstarke Maskenausrichtungsmodelllösung.
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