Gebraucht CANON MPA 600 FA #9016131 zu verkaufen

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Hersteller
CANON
Modell
MPA 600 FA
ID: 9016131
Wafergröße: 6"
Aligner, 6" Oscilloscope: TEKTRONIX TDS 3012 (Auto alignment signals) IUC Meter: IUC- M3S Double / Single indexer Scan motor Auto hand turn (unlock like turn table) LED: For flat finder with high bearing, 6” Observation light in alignment scope Extension cable: Automatic alignment PCB: 4 x 60 pin PCB 17 / 18: 2 x 50 pin Camera / Monitor observation system Laser adjustment tool (4) Spare foots Tube for fill cushion foot Lamp Vacuum pump (2) BD0-5200 BD1-3294 (2) CTC / TDC (2) Long cables with sensor Cover with powder coating Light condition: Input: 1800 W Output: 700 mW / cm2 for 1.6 mm slit Manual included.
CANON MPA 600 FA Maske Aligner ist ein wesentliches Werkzeug bei der Herstellung von Produkten mit Lithographie-Techniken. Es ist eine vollautomatisierte Maschine, die für die Serienfertigung ausgelegt ist und eine außergewöhnlich präzise Musterung ermöglicht. Das Gerät nutzt eine Kombination aus Vakuumfutter und Resistbeschichtungstechnologie, um mikrostrukturierte Merkmale auf eine Vielzahl von Substraten zu leiten, zu übertragen und zu entwickeln. Das Gerät ist sowohl mit einem automatischen Maskenausrichtsystem als auch mit einer intelligenten Sichteinheit ausgestattet. Die Ausrichtungsmaschine verwendet Laserpositionierungssensoren, um die Ausrichtungsmarken auf dem Substrat genau zu lokalisieren und ermöglicht eine genaue Registrierung zwischen Maske und Schicht. Das Vision-Tool wird verwendet, um Substratfehler zu erkennen, die Anzahl der auf dem Substrat vorhandenen Rahmen und Ebenen zu identifizieren und die Ausrichtungsparameter zu berechnen. CANON MPA600FA ist ein modulares Asset, das mehrere Substrate und Masken gleichzeitig handhaben kann. Das Modell ist in der Lage, eine Vielzahl von Mustergeometrien in Größen von Mikrometern bis Millimetern zu verarbeiten. MPA-600FA ist in der Lage, hochpräzise Muster mit einer Auflösung von ≤ 8µm und einer Musterabweichung von ≤ 5µm zu erreichen. Mit seiner robusten Resistbeschichtungstechnologie ist die Ausrüstung in der Lage, auch die anspruchsvollsten Muster mit Leichtigkeit zu reproduzieren. CANON MPA600-FA verwendet fortschrittliche optische Ausrichtungstechnologie, um die Belichtungsgenauigkeit zu optimieren und einheitliche Ergebnisse zu gewährleisten. Die Maschine ist mit Vakuumfuttern ausgestattet, die das Substrat während der Substratbeladung, des Resistauftrags und der Nachbelichtungsprozesse fest halten. MPA600-FA unterstützt auch eine breite Palette von Resistmaterialien, um optische und physikalische Eigenschaften für optimale Ergebnisse zu kombinieren. Mit seiner Fähigkeit, große Serien von Produktionsmasken schnell zu verarbeiten, kann CANON MPA 600FA die Zykluszeiten der Lithographie drastisch reduzieren. Darüber hinaus ist das System in der Lage, offline zu laufen, so dass Benutzer mehrere Produktionsabläufe gleichzeitig abschließen können, wodurch höhere Ertragsraten möglich sind. CANON MPA-600FA ist das ideale Werkzeug für hohe Serienanforderungen. Seine Kombination aus anspruchsvollen Eigenschaften und zuverlässiger Leistung macht es zu einer ausgezeichneten Wahl für Lithographie und Mikrofabrikation Produktionsläufe. Das Gerät ist einfach zu bedienen und seine automatische Ausrichtung ermöglicht es Benutzern, präzise Ergebnisse mit minimaler Bedienereingabe zu erzielen. Sehr zuverlässig und effizient ist MPA 600FA ein erstklassiger Maskenausrichter für Lithographie- und Mikrofabrikationsanwendungen.
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