Gebraucht CANON MPA 600 FA #9058852 zu verkaufen

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Hersteller
CANON
Modell
MPA 600 FA
ID: 9058852
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1992
Mask aligner, 6" Mercury lamp, USH-2002MA.
CANON MPA 600 FA ist ein automatischer, Vollwafer-Maskenausrichter. Es ist ein Werkzeug, das von fortschrittlichen Herstellern von elektronischen Geräten verwendet wird, um Muster von einer Schablone auf ein Substrat oder über die Oberfläche eines Geräts zu übertragen. Der Aligner ist auf Präzision und Genauigkeit über eine große Fläche ausgelegt, was ihn zu einer idealen Wahl für die moderne Halbleiterproduktion macht. Das Gerät ist mit einer großen Lithographiefläche von 600mm (23.62 ") und einer Auflösung von 10 Nanometern (nm) ausgestattet. Es verfügt über eine verbesserte Wellenlänge von 248nm und 248nm für Musterbelichtung und Ausrichtungsgenauigkeit. Das patentierte „Auto-Alignment“ System sorgt für eine schnelle und genaue Ausrichtung von Substrat und Schablone auf die Maskenstufe. Das Gerät umfasst vier Hauptkomponenten: 1) Maskenstufe: Diese Plattform positioniert sowohl die Schablone als auch das Substrat über dem Lithografiebereich und sorgt für wiederholbare Präzision. Sein Übertragungsbereich beträgt 300mm und kann angepasst werden, um verschiedene Substratgrößen aufzunehmen. 2) Beleuchtungsmaschine: Das Beleuchtungswerkzeug von CANON MPA600FA bietet ultrahohe Helligkeit für gleichmäßige Belichtung mit einer fortgeschrittenen Lichtquelle. Es kann eine hochauflösende Abbildung von etwa 10nm erzeugen, was es ideal für die Herstellung von hochdichten Mustern auf Halbleitersubstraten macht. 3) Ausrichtung Asset: Dieses Modell bietet erweiterte Ausrichtungsgenauigkeit und Kontrolle mit seiner genauen Winkelhalbierenden und Aktorausrüstung. Es ermöglicht eine Ausrichtung auf Waferebene und Anpassungen, um eine maximale Belichtungsgenauigkeit zu gewährleisten. 4) Z-Achsen-Einheit: Die Z-Achsen-Einheit hält die Höhe der Maskenstruktur für einfache Einstellbarkeit aufrecht. Es bietet auch die bestmögliche Genauigkeit der Maskenregistrierung durch unabhängige Kantensteuerung und automatische Ausrichtung. MPA-600FA ist ein leistungsstarkes Werkzeug für jede fortschrittliche Technologieproduktion und wurde entwickelt, um eine hochpräzise Musterübertragung zu ermöglichen. Seine fortschrittlichen Beleuchtungs-, Ausrichtungs- und Präzisionssysteme sowie seine große Lithographiefläche machen CANON MPA 600FA zu einer idealen Wahl für die hochpräzise Produktion elektronischer Geräte.
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