Gebraucht CANON MPA 600 FA #9060105 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9060105
Projection aligner, 6"
Slit: 1.6mm
Includes:
Illumination power check meter, 7”
Focus tilt mask, 7”
DR Mask
Projection system:
Projection mirror:
Total reflection UM02
Magnification: 1x
Image size:
Stationary: Arcuate image 150 mm (L) x 1.6 to 2.0 mm (W), with radius of 95 mm
Scanning: Φ6 (150 mm) Over entire surface, excluding that under (3) disk claws
Magnification: 1x
Effective F number: Fe 3.5
Wavelengths used:
Printing (UV): 365 nm (i-line), 405 nm (h-line) & 436 nm (g-line)
Manual alignment: E-line (546 nm) & orange light
Auto alignment: 633 nm (He-Ne Gas laser)
Illuminator:
Light source:
USHIO ELECTRIC USHY-2002MA 2 kW Super-high-pressure mercury lamp
Illumination range:
Length: 150 mm
Width: 1.6 to 2.0 mm
Radius: 95 mm
Illumination uniformity: Within ±3%
Effective light source: σ = 0.7, σ = 0.6, σ = 0.5
Exposure:
Scanning speed: Φ5" (Φ125 mm)
Setting range: 5.0 - 150.0 sec (for 5" wafer)
Setting units: Uniform 0.1 sec increments
Scanning mechanism:
Feed / Control methods
Closed loop method with DC servo motor drive
Scanning speed: 5.0 to 150.0 sec (25 mm/sec-0.83 mm/sec) for 5" wafer
Carriage position setting:
Setting range: -75 mm to 75 mm
Increment: 0.01 mm
Setting accuracy: ±10 /µm
Alignment scope:
Objective lens: 10x, NA 0.2
Eyepiece: 10x, 15x
Erector lens: 1x, 2x, 3x
Low-magnification lens: 0.3x
Distance between objective lenses:
30 to 109.6 mm (Traveling simultaneously on both sides of center position)
Setting range of objective lens distance: 30.00 to 109.6 mm in 0.02 mm increments
Focusing travel (both fields of view): ±2 mm
Auto alignment:
Laser beam scanning
Light source: He-Ne Gas laser (633 nm), polarized type 5 mW
Dedicated patterns are used for auto alignment
Offset control: Read/write possible in range of 0 to 7.9 /µm
Tolerance setting: 0.25 (0.15) /µm, 0.5µm, 1 µm
Auto alignment time: Within 7 sec
Observation in auto alignment mode possible
Auto feeder:
Auto/manual switching: Automatic / Manual wafer feed selectable
Feed method: Belt & auto hand
Wafer size: 4"-6"
Applicable carrier: FLUOROWARE Type carrier: Standard
Capacity: 25 wafers
Pitch: 3/16"
Projection system focusing:
Focus adjustment: ±1.5 mm
Travel amount obtained by one rotation of knob: 10 µm
Power supply:
MPA-600FA: 200 VAC, 3Φ, 6 kVA, 50/60 Hz
Air supply unit: 200 VAC, 3Φ, 8 kVA, 50/60 Hz.
CANON MPA 600 FA ist ein hochpräziser Masken-Aligner, der von CANON für Wafer-Verpackungen entwickelt wurde. Es ist ein voll ausgestattetes Instrument, das eine breite Palette von Funktionen und Funktionen bietet, so dass es ideal für den Einsatz in einer Vielzahl von Anwendungen der Geräteherstellung. CANON MPA600FA verwendet ein hochauflösendes Projektionsausrichtgerät, das mit Infrarotlicht das Maskenmuster präzise auf die Waferoberfläche projiziert und ausrichtet. Dieses System ermöglicht Feinpositionseinstellungen und erleichtert eine genaue und wiederholbare Ausrichtung des Maskenmusters auf die Waferoberfläche. MPA-600FA ist auch mit einer Hochleistungs-Laserglüheinheit ausgestattet, die es Anwendern ermöglicht, ausgewählte Bereiche des Wafers für eine Vielzahl von Zwecken thermisch zu behandeln. Diese Maschine ist in der Lage, gleichmäßige Wärme über den gesamten Wafer zu erzeugen, eine gleichmäßige Oberflächenbildung zu gewährleisten und einen Ausfall der Vorrichtung aufgrund temperaturbedingter Probleme zu verhindern. MPA 600 FA ist mit einem maßgeschneiderten Metallmaskenhalter ausgestattet, mit dem Benutzer die Metallmaske während der Ausrichtung genau positionieren und am Wafer befestigen können. Es verfügt auch über einen automatisierten optischen Stepper, der die Geschwindigkeit und Präzision des Ausrichtungsprozesses erheblich erhöht. CANON MPA 600FA enthält auch ein automatisiertes Steuerwerkzeug, das eine einfache Bedienung und Verwaltung des Instruments ermöglicht. Dieses Asset umfasst eine benutzerfreundliche grafische Oberfläche, mit der Benutzer verschiedene Operationen ausführen können, z. B. die Auswahl von Parametern oder die Steuerung von Masken, ohne vorherige Schulung. CANON MPA-600 FA bietet auch eine Vielzahl von Sicherheitsfunktionen, um sowohl den Benutzer als auch das Gerät zu schützen, einschließlich eines automatischen Abschaltmodells bei anormalem Betrieb und eines eingebauten Staubfilters, um Staub und Schmutz am Eindringen in das Instrument zu hindern. CANON MPA-600FA ist eine ausgezeichnete Wahl für Halbleiterbauelementehersteller, die ein hochpräzises Maskenausrichtungsinstrument benötigen. Mit seinen leistungsstarken Fähigkeiten, der präzisen Ausrichtung und den fortschrittlichen Sicherheitsmerkmalen ist MPA-600 FA ein ideales Werkzeug, um optimale Ergebnisse bei Verpackungsanwendungen auf Waferebene zu erzielen.
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