Gebraucht CANON MPA 600 FA #9109111 zu verkaufen

CANON MPA 600 FA ist ein hochmoderner Masken-Aligner für Anwendungen wie Nanomanufacturing, Nanoabdruck-Lithographie (NIL) und Dünnschichtabscheidung. Es wurde mit branchenführenden Standards gebaut und ist in der Lage, präzise Herstellung und Analyse auf Submikron-Ebene. Herzstück von CANON MPA600FA ist der leistungsstarke 63-Watt CO2-Laser, der extrem hohe Belichtungsintensitäten und Fokustiefen erzeugt. Dies ermöglicht eine extrem präzise, gleichmäßige Belichtung von Maskenmustern auf verschiedenen Substraten, von Photoresistscheiben bis hin zu Glas- und Siliziummaterialien. Mit seiner hohen Auflösung von 0,01 µm ist es mit den meisten Funktionen kompatibel, die in IC-Designs (Current Integrated Circuit) gefunden werden. Darüber hinaus ist MPA-600FA mit zwei präzisionsgesteuerten, 6-achsigen Linearmotorstufen ausgestattet. Diese Stufen erlauben eine genaue und reproduzierbare Zeigegenauigkeit, was es ermöglicht, Ausrichtungsanwendungen auf feinen Detailstrukturen bei hohen Geschwindigkeiten durchzuführen. Die Maschine wird durch die patentierte MAVIC/AFH (Multi-Axis Variation Control and Auto-Focus Height) Technologie von CANON weiterentwickelt. Durch den Einsatz von eingebauten adaptiven Sensorköpfen und Rechenfeedback ermöglicht das MAVIC/AFH-System eine dynamische Steuerung des Bewegungstableers und verhindert automatisch Fehler durch Layout-Design und Substratvariationen. Darüber hinaus ist CANON MPA-600FA mit einem fortschrittlichen Bedienkontrollsystem ausgestattet, das eine einfache und effiziente Bedienung ermöglicht. Durch den Einsatz des EtherCAT-Netzwerks können Benutzer problemlos auf Prozesssteuerungs-/Überwachungssysteme zugreifen, sodass sie den Maschinenstatus und die Modifikation von jedem Computer aus überwachen und steuern können, der ferngesteuert an die Maschine angeschlossen ist. Um eine reibungslose Produktion zu gewährleisten, ist der Maskenausrichter auch mit einem beheizten Vakuumfutter und einer Vakuumpumpe ausgestattet, die zusammen genau die richtige Menge Vakuum ablegen können, um Substrate an Ort und Stelle zu halten. Schließlich bietet CANON THERMON erweiterte Temperaturmanagementfunktionen für den Maskenausrichter. Dies hilft, eine optimale Temperatur für die verschiedenen Komponenten der Maschine beizubehalten, um sicherzustellen, dass die Belichtungsgenauigkeit erhalten bleibt. MPA 600 FA ist somit ein unglaublich vielseitiges Werkzeug zur präzisen Herstellung und Analyse. Mit seinen branchenführenden Standards und fortschrittlichen Funktionen wird MPA600FA sicher zu einem Standbein in einer Vielzahl von Fertigungswerkstätten.