Gebraucht CANON MPA 600 FA #9250757 zu verkaufen
Es sieht so aus, als ob dieser Artikel bereits verkauft wurde. Überprüfen Sie ähnliche Produkte unten oder kontaktieren Sie uns und unser erfahrenes Team wird es für Sie finden.
Tippen Sie auf Zoom
Verkauft
ID: 9250757
Wafergröße: 5"
Mask aligner, 5"
Cassette type: Single
Mask size, 6"
Slit size: 1.6 mm
Main body:
Illumination system
Alignment scope
Lab unit
Mask stage
Wafer stage
Pre-alignment unit
Auto feeder
Operation panel
Lamp power supply: AC 200V
CTC Unit:
No TDC
AC 200V
Control unit:
AA1
AA2
AA3
AA4
PFD SV Drive
MPU
AS / IL / ML
Mask stage IF
Wafer stage IF (I)
Wafer stage IF (II)
VAC Switch IF
Scan stage
Panel IF
MV/ TT / AF IF
AF MPU III
AF IF2 (III)
Scan drive
DC Power supply
Accessory box 1:
(3) Hoses
Exhaust elbow
Gauge, push arm, focus knob, screws
Pre-aligner
(2) Manuals
(2) T-handlers
Glass mask
Black guide cover
Auto hand
Mask holder
Wafer disk
Accessory box 2:
Monitor / Stand
(2) Wafer chucks
Fan
(2) Cables
Camera
Camera power supply
Slit unit
Light unit-led type
Microscope head
Locking condition:
Main body locking
Lab locking
Wafer stage locking
Mask stage locking
Lens locking
Auto feeder locking.
CANON MPA 600 FA ist ein hochmoderner Masken-Aligner von CANON, der fortschrittliche Möglichkeiten für die Elektronenstrahl-Lithographie bietet. Die Vorrichtung ist in der Lage, eine hochauflösende Abbildung mit gleichmäßiger Strukturierung über eine Vielzahl von Substraten zu erzielen. Es verfügt über ein hochpräzises Rasterelektronenmikroskop mit einer motorisierten xyz-Stufe, um eine überlegene Kontaktausrichtung und eine geringe Verzerrung für jede Schicht der entwickelten Maske zu gewährleisten. Die Softwareausstattung verfügt über eine benutzerfreundliche Oberfläche für benutzerdefinierte Layoutdesigns und bietet eine Vielzahl von Werkzeugen zur genauen Ausrichtung der Masken. Das System ist mit einer Vielzahl von Folien- und Resistmaterialien kompatibel und hat eine Auflösung von bis zu 0,5 μ m für eine hochpräzise Strukturierung. Das Gerät verfügt auch über eine breite Palette von Funktionen für Gerätetests und -prüfungen, wie eine automatische Tuning-Wafer-Bühne und einen automatischen Foto-Stance-Monitor. Die Spannung auf der Schaufel, der Einbau von Wafer-Sonden sowie Laser-Scribe-Referenzlinien können alle automatisch eingestellt werden, was eine präzise Maskenausrichtung ermöglicht. Außerdem verhindert die Hochvakuumumgebung innerhalb der Kammer, dass Umweltfaktoren den optischen Weg des Elektronenstrahls beeinflussen. Das Gerät hat eine hohe Durchsatzkapazität und ist leicht in eine Fabrikautomatisierungsmaschine integriert. Es wurde entwickelt, um hohe Ausbeute zu erzielen und konsistente Ergebnisse zu liefern, wenn eine Lithographie mit hohem Durchsatz erforderlich ist. Es kann Substrate bis zu 8 Zoll in der Größe aufnehmen, und kommt auch mit einer Stufe motorisiert Stufe für genaue Schritte im Entwicklungsprozess. Insgesamt ist CANON MPA600FA ein leistungsstarker und benutzerfreundlicher Maskenausrichter, der präzise Musterungen mit hohem Durchsatz und schnellen Durchlaufzeiten liefert. Dank seiner Flexibilität und Genauigkeit eignet es sich perfekt für Prototypen und Serien.
Es liegen noch keine Bewertungen vor