Gebraucht CANON MPA 600 FA #9316593 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9316593
Wafergröße: 5"
Mask aligner
JEIDA Flat-finder, 6"
Wafer chucks
Astigmatism: < 2.0 µm
Method: Measure vertical and horizontal
Focus: < ± 2.0 µm
Method: Deviation using tilting mask
Uneven focus: < 2.0 µm
Intensity: > More than 400 mW
Method: SLIT 1.6 mm
Uniformity: < ± 3%
Method: 11-Points measure integrated intensity in CANON IUC-M3
Distortion: [MX] ≤ 0.4 µm, [MY] ≤ 0.4 µm, [DR] ≤ 0.3 µm
3σ ≤ 0.5 µm
Exposure performance:
Exposure field: R 95 mm
Resolution: 1.8 - 2.0 µm
Exposure wavelength: 365 nm (L), 405 nm (H), 436 nm (G) Line complex wavelength
Reduction ratio: x1
D.O.F: ± 8 um (1.8 - 2.0 µm Line and space)
Illuminator:
Light source: 2.0 kW Super high pressure mercury lamp
Wafer alignment:
Alignment light source: He-Ne Laser (633 nm)
Alignment system: LBS (He-Ne Laser scan AA)
Alignment accuracy (3δ): ≤ .60 µm
Scanning mechanism:
Scan drive unit: Scanning carriage unit by DC motor drive
Scan range: 6" (160 mm), 5" (141 mm), 4" (119 mm)
Scanning speed: 5 to 150 sec (25 mm/sec - 0.83 mm/sec)
Alignment scope:
Viewing scope light resource: New style LED type
Erector lens:
Viewing lens: Manual moving
Erector: 1x, 2x, 3x
Mechanical pre alignment:
Pre alignment accuracy (Range): Φ 100 µm or less
Power supply: 200 VAC.
CANON MPA 600 FA ist ein hochpräziser Maskenausrichter, der zuverlässige und genaue lithographische Muster für elektronische Geräte bereitstellt. Es verfügt über eine erweiterte Ausrichtung Ausrüstung und intuitive Benutzeroberfläche, so dass es einfach zu bedienen. Das System bietet extreme Genauigkeit mit seiner extrem hohen Genauigkeit Positioniereinheit und Auto-Ausrichtung Funktion. Die automatisierten Verarbeitungsfunktionen ermöglichen es dem Benutzer, komplexe und präzise Musterlayouts zu erstellen. CANON MPA600FA hat eine maximale effektive Fläche von 600mm x 600mm und eine Auflösung von 0,25 Mikrometern mit einer Fokusgenauigkeit von 0,1 Mikrometern. Es ist in der Lage, hochauflösende Mustererzeugung und Belichtung mit 8-Bit-Graustufe. Es verwendet eine PUV-U Lichtquelle, die einen sauberen, gleichmäßigen polychromatischen Lichtstrahl liefert. Darüber hinaus verfügt es über eine automatische Mustererzeugungsfunktion (APC), die es dem Benutzer ermöglicht, eine Vielzahl von Maskenmustern zu verwenden und schnell komplexe Muster zu erstellen. MPA-600FA ist mit einer Vielzahl von Zubehörteilen ausgestattet, die eine automatisierte Ausrichtung, Positionierung und Belichtung ermöglichen. Es verfügt über eine pneumatisch betätigte Fokussteuerung, die eine Feinabstimmung der bildgebenden Maschine ermöglicht. Eine Spiegelausrichtstufe ermöglicht eine präzise Platzierung von Beugungsgittern und gekrümmten Spiegeln zur Maskenausrichtung und Fokusstabilisierung. Die integrierte Bildüberwachungskamera sorgt für eine exakte Positionierung des betrachteten Musters. Darüber hinaus unterstützt das Werkzeug sowohl trockene als auch nasse Entwicklungsprozesse. CANON MPA-600 FA verfügt über ein integriertes Softwarepaket, das es dem Benutzer ermöglicht, Operationen zu programmieren und die verschiedenen Komponenten des Assets zu überwachen. Es ist auch in der Lage, mit externen Netzwerken für die automatisierte Produktion und Steuerung zu kommunizieren. Es ist in der Lage, verschiedene Arten von Mustern zu produzieren, von Standardlinienmustern bis hin zu komplexen geformten Mustern. Darüber hinaus unterstützt das Modell das Design und die Verifizierung von Lithographieverfahren wie OPC (Opto-Printing Check). Insgesamt ist MPA 600 FA ein hochpräziser Maskenausrichter, der zuverlässige und genaue lithographische Muster liefert. Es bietet dem Anwender extreme Genauigkeit und Flexibilität, die es zur idealen Ausrüstung für die Erstellung von lithographischen Geräten machen.
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