Gebraucht CANON MPA 600 Super #9033449 zu verkaufen

CANON MPA 600 Super ist ein motorisierter Maskenausrichter, der für die Herstellung von 8-Zoll, 12-Zoll und 13-Zoll-Umfangsmasken bei der Herstellung von feinen Mustern entwickelt wurde. Es verwendet eine Laser-Autofokus-Ausrüstung, um die Maske und Wafer-Substrate genau auszurichten und verwendet ein fortschrittliches motorisches Bühnensteuerungssystem für die Overlay-Genauigkeit. CANON MPA600SUPER ist in der Lage, Masken mit minimalen Linienbreiten von 0,25 Mikrometern und einem Abstand von 0,2 Mikrometern herzustellen. Der Masken-Aligner weist eine hochzuverlässige Belichtungs-Abbildungseinheit auf, die einen einstellbaren 6-Laser-Strahl-Arranger verwendet, der Quad-Laser-Raster mit erhöhten/abgesenkten Laserlinien enthält. Das Laserraster koordiniert exakt mit der motorisierten Bühnenbewegung und bietet eine nicht reflektierende Bearbeitungsumgebung, um eine qualitativ hochwertige Strukturierung im Bild zu gewährleisten. Eine prozessgesteuerte Belichtungsmaschine vereinfacht den gesamten Maskenprozess, indem Benutzer schnell einen Belichtungsdruck und eine Schrittweite auswählen können, die dem Auftrag entsprechen. MPA-600SUPER verfügt auch über eine Ausrichtungsmonitor-Anzeige, die dem Benutzer umfassende Ausrichtungsinformationen zur Verfügung stellt. Es beinhaltet die Steuerung des Joystick der Bühne, die eine bequeme und genaue Platzierung der Maske und des Substrats ermöglicht. Der große 19-Zoll-Farbmonitor bietet zudem eine detailliertere Darstellung für eine größere Ansicht des Ausrichtungsprozesses. Dieser Masken-Aligner verfügt über ein Scan-Tool, das berührungslose Direktantrieb-Encoder verwendet, die die Zeit und den Aufwand für herkömmliche Autofokus-Systeme reduzieren. Seine Schrittmotorsteuerung bietet Genauigkeit während der Bewegung der Bühne, mit hoher Präzision Registrierung bei der Einstellung des Laserrasters. MPA-600 SUPER verfügt über eine Reihe integrierter Sicherheitsfunktionen, die den Benutzer und die Ausrüstung während des Betriebs schützen sollen. Dies beinhaltet eine Verriegelungseinrichtung, die verhindert, dass der Laser arbeitet, wenn die Arbeitssicherheit nicht gewahrt bleibt, sowie eine Nothaltetaste, die für einen sofortigen Betriebsstopp gedrückt werden kann. Insgesamt ist CANON MPA-600 SUPER ein voll ausgestatteter, motorisierter Maskenausrichter, der für die Herstellung von hochpräzisen Mustern entwickelt wurde. Seine Komponenten ermöglichen die Positionierung Genauigkeit und Belichtung Präzision, während eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen schützen den Benutzer und die Ausrüstung. Dadurch ist der Masken-Aligner für einen Bereich von mm, cm und Sub-Micron-Anwendungen gut geeignet.