Gebraucht CANON MPA 600 Super #9057709 zu verkaufen
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CANON MPA 600 Super ist eine Oberseite der Linie Maske Aligner für den professionellen Einsatz entwickelt. Es bietet ein breites Spektrum an Möglichkeiten im Bereich der Photolithographie und der Verpackungstechnologien auf Waferebene. Die Maschine kann eine Vielzahl von Masken mit verschiedenen Mustern und Dicken sowie mit bis zu einem Drittel der Größe eines 200mm-Wafers handhaben. CANON MPA600SUPER ist mit einer dreiachsigen, achtzonigen, einseitigen optischen Ausrüstung ausgestattet, die eine präzise Ausrichtung der Ausrichtmarken und Gerätefunktionen auf dem Wafer ermöglicht. Das Design des Systems ermöglicht eine große Feldabtastung mit mehreren Fokusbereichen, wodurch die Notwendigkeit mehrerer Durchgänge über den Wafer entfällt. Zusätzlich verfügt das Gerät über einen eingebauten Ausrichtmarkendetektor, mit dem die Maske auf dem Wafer exakt ausgerichtet wird. Die Maschine ist für den Hochdurchsatzbetrieb ausgelegt und kann bis zu 3000 Wafer pro Stunde verarbeiten. Die Maschine verfügt über einen hochmodernen digitalen Signalprozessor sowie einen PID-Controller, der eine genaue und konsistente Prozesskontrolle gewährleistet. Zusätzlich nutzt es eine patentierte HF-Impedanzanpassungstechnologie zur sehr präzisen Ausrichtung. In Bezug auf Funktionen bietet MPA-600SUPER eine umfassende Liste. Es bietet eine automatische Schrittgröße von 1 µm; eine 3-Zonen-Projektionslinse zur gleichmäßigen Bestrahlung in allen Bereichen; ein Fokus-Finder-Merkmal zur Vereinfachung der manuellen Ausrichtung; und eine optische Defokus-Steuereinstellung zur Feinabstimmung. Es ist auch mit einem Auto-Tune-Laser ausgestattet, der sich automatisch auf die optimale Intensität des Fokussierlasers und der Spotgröße einstellt. Ferner weist das Werkzeug einen automatisierten Waferheber auf, der es dem Benutzer ermöglicht, Wafer leicht zu entfernen und aus der Ausrichtkammer zu beladen. Darüber hinaus verfügt es über einen integrierten UV-Diodenlaser zur genauen Impulssteuerung für die Belichtung. Insgesamt ist MPA600SUPER eine Oberseite der Linie Maske Aligner für den professionellen Einsatz entwickelt. Es kombiniert fortschrittliche Technologie mit einfach zu bedienenden Funktionen und ermöglicht eine qualitativ hochwertige und präzise Verarbeitung von Wafern und Masken in einer Reihe von Anwendungen. Unter Verwendung der patentierten RF-Impedanzanpassungstechnologie und des hochmodernen digitalen Signalprozessors bietet es eine präzise Ausrichtung sowie eine schnelle, konsistente und zuverlässige Leistung für Hochdurchsatzoperationen.
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