Gebraucht CANON MPA 600 Super #9240097 zu verkaufen
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ID: 9240097
Weinlese: 1991
Mask aligner
Infrared wafer detection
Wafer pre-align unit
Does not include TVAA parts
1991 vintage.
CANON MPA 600 Super ist ein Stück anspruchsvoller Mikrofabrikationsgeräte, die bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen verwendet werden. Es ist ein Masken-Aligner, was bedeutet, dass es verwendet wird, um Photomasken auf mit Photoresists beschichteten Wafern genau auszurichten und zu belichten. CANON MPA600SUPER hat eine optische Vergrößerung von 40X zu 100X, eine Genauigkeit von besser als 30 nm und 4-dimensionale Ausrichtungsmöglichkeiten (X, Y, θ und Z). Dadurch kann der Maskenausrichter die Ausrichtung der Photomaske mit Nanometergenauigkeit über ein weites Sichtfeld durchführen. Um eine genaue Ausrichtung und gleichmäßige Belichtung zu gewährleisten, ist diese Maschine mit einer hochpräzisen Stufe, beugungsbegrenzten Linsen, Strahlaufteilung und einer ursprünglichen optischen Strahlöffnung zur Aberrationskorrektur ausgestattet. MPA-600SUPER verwendet auch digitale Zeilen-/Raumbildtechnologie, die Ausrichtungsfehler korrigiert und die Zeilen-/Raumauflösung verdoppelt. Zusätzlich ist diese Maschine mit einer hochintensiven Quecksilber-Halogenid-Lichtquelle ausgestattet. Dies ermöglicht eine Hochdurchsatzbelichtung und eine kurze überlappende Belichtungszeit für hochauflösende Bildgebung. MPA 600 Super bietet auch eine fortschrittliche Wafer-Handhabung, einschließlich eines Wafer-Management-Systems, das einen Wafer-Stufenverformungssteuermechanismus, einen Wafer-Saugmechanismus und ein Auto-Elevation-System verwendet, um Kontaminationen zu minimieren. Diese Maschine bietet auch erweiterte Sicherheitsfunktionen wie ein Antireflexionsglas und einen reflektierten Lichtsensor, um das Vorhandensein von Materialien auf der Fotomaske zu erkennen. MPA600SUPER hat auch eine präzise Kontrolle der Belichtungsdosis und ein automatisches Abschaltsystem, das die Verhinderung einer Überbelichtung der Photomaske gewährleistet. Zusammen machen diese Eigenschaften MPA-600 SUPER zu einem idealen Werkzeug für die Herstellung einer breiten Palette von Halbleiterbauelementen mit sehr hoher Präzision und Zuverlässigkeit.
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