Gebraucht CANON PLA 500 Series #9007956 zu verkaufen
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ID: 9007956
Lot of spare parts:
Complete set of PC boards
Extender card
Sequence indicator readout (Ideal diagnostic tool for fault finding)
Mother board, 2 off
Complete power supply board
6" Conversion kit in aluminium case
Elliptic mirror
Flat mirrors
UV Lamps
Lamp-heatsinks and power leeds
Lots of parts for gap setting unit
Lots of electronic components and sensors
Includes:
E-PROM Set
Lots of solenoids and other pneumatic parts
Lots of mechanical parts
Various original manuals.
Maskenausrichter der CANON PLA 500 Serie bieten einen äußerst zuverlässigen, kostengünstigen Maskenausrichter für präzise Photolithographieanwendungen wie Ultra-Scale Integration (ULSI) und fortschrittliche Verpackungsprozesse. Die PLA 500 Serie eignet sich für eine Reihe von Herstellungsprozessen wie Organic Thin Film Transistor (OTFT) und 3D-Integration und ist in der Lage, eine Reihe von Substratmaterialien wie Polymere, Silizium und Glas zu handhaben. CANON PLA 500 Serie Maske Ausrichter verfügen über ein geschlossenes Rahmendesign, das sowohl Standard- als auch kundenspezifische Substratgrößen aufnehmen kann. Es ist in der Lage, eine überlegene Ausrichtungsgenauigkeit mit einer Punktgröße von weniger als einem Mikron bereitzustellen. Die Maschine ist auch mit einer Ausrichtungssensorik ausgestattet, die eine Vorausrichtung sowie eine Feinausrichtung auf zwei Achsen für die Ausrichtgenauigkeit durchführt. Die PLA 500 Serie enthält auch eine spezielle Bildausrichtungseinheit, die in der Lage ist, die genauen Koordinaten auf jeder Maske und jedem Substrat aufzulösen. Das benutzerfreundliche LCD-Touch-Panel bietet detaillierte Parametereinstellungen und eine komfortable Benutzeroberfläche. CANON PLA 500 Series Mask Aligners bietet die notwendige Steuerungsumgebung für hochpräzise Photolithographie-Prozesse wie Schrittverbesserungsoperationen, Original Layer Compensation (OLC) und Layer Shift Manipulation (LSM). Darüber hinaus verfügt die PLA 500-Serie über eine erweiterte integrierte Methan-Hausfunktion, die eine schnellere Bearbeitungszeit und eine präzise Ausrichtung der Schichten ermöglicht. Der Belichtungsteil der CANON PLA 500 Serie kann so konfiguriert werden, dass er verschiedene Arten von Masken wie positive und negative auf einem einhundertvierzig Millimeter dicken Substrat akzeptiert. Die PLA 500 Serie ist mit schnellen Belichtungsprozessen wie integriertem energiesparendem APC (ESAPC) und automatischem Plattenbelichtungstrimmen (APT) für einen verbesserten Durchsatz ausgestattet. Darüber hinaus kann die Maschine Vorrichtungen und kundenspezifische Halter für eine Vielzahl von Substraten akzeptieren, einschließlich flacher Chips, gestapelter und laminierter Substrate. Es verfügt über eine integrierte geistige VAE-Kammer und einen Hochgeschwindigkeits-Datenport für die direkte Teilelesung. Eine benutzerfreundliche Software-Oberfläche ermöglicht es Benutzern, die Belichtungszeiten und Ausrichtungsraten nach Bedarf anzupassen. CANON PLA 500 Serie Maske Ausrichter haben auch erweiterte Sicherheitsfunktionen. Dies beinhaltet ein Verriegelungssystem, das die Exposition während einer nicht autorisierten Wartung verhindert, und ein Eingangsisolationssystem, um ein sicheres Bodenniveau zu gewährleisten. Weitere Sicherheitsmerkmale sind ein Not-Aus-Knopf und eine eingebaute optische und elektrostatische Abschirmung. Insgesamt ist die PLA 500 Serie eine kostengünstige, zuverlässige und hochpräzise Lösung für Produktions-Photolithographie-Prozesse, die überlegene Ausrichtungsgenauigkeit, Hochgeschwindigkeits-Belichtungsprozesse und verschiedene Sicherheitsmerkmale bietet.
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