Gebraucht CANON PLA 500F #131142 zu verkaufen

Hersteller
CANON
Modell
PLA 500F
ID: 131142
Mask aligner.
CANON PLA 500F ist ein vollautomatischer Maskenausrichter für Forschungseinrichtungen und Produktionslinien. Es wird für eine Vielzahl von Waferanwendungen wie Photolithographie, Dünnschichtabscheidung, Ätzen, Mustererkennung und Dünnschichtausrichtung verwendet. Die Hauptkomponenten von PLA- 500F sind eine Control Console, eine Exposure Unit, eine Exposure Unit 2, ein Assign Handler und eine Support Unit. Die Control Console ist mit einem großen grafischen Farbdisplay ausgestattet und bietet eine Vielzahl von Optionen und Funktionen zur Steuerung der Geräte. Es enthält benutzerfreundliche Software zur einfachen Steuerung und Bedienung. Die Belichtungseinheit ist mit einem 6-Zoll-Dia-Schrittmotor ausgestattet, der 0 liefern kann. 25 μ m Schrittauflösungen. Die Aussetzungseinheit 2 ist eine, Hochleistungsdünnfilmabsetzungseinheit, die für schmalere in einer Prozession gehende Gebiete entworfen wird. Sein 16-Zoll-Dia-Schrittmotor ermöglicht eine verbesserte Auflösung von 0,03 µm. Der Assign Handler ist eine vollautomatische Schalteinheit, die die Exposure Unit und Exposure Unit 2 mit der Control Console verbindet. Sie dient zur Steuerung der Ausrichtung und Übertragung der Dünnschichtmuster auf die Waferoberfläche. Die Stützeinheit ist eine schrittmotorisch angetriebene mechanische Vorrichtung, die in der Lage ist, Wafer manuell zu kommissionieren und auf die bearbeiteten Bereiche der Maschine zu legen. CANON PLA 500F ist mit einer Vielzahl von Dünnschicht- und Resisttypen kompatibel und kann bis zu 150mm Wafer verarbeiten. Es verfügt über eine moderne Mustererkennungssoftware, die es dem System ermöglicht, die Dünnschichtmuster genau auszurichten und auf das Substrat zu übertragen. Die Einheit ermöglicht auch austauschbare Filter, die eine breite Palette von Dünnschichtdicken bieten. Neben seiner hohen Genauigkeit verfügt PLA 500F über eine schnelle Prozessumdrehungszeit und ist für eine geringe Wartung ausgelegt. CANON PLA 500F ist benutzerfreundlich, zuverlässig und hochgenau. Es verfügt über eine einfache Touchscreen-Oberfläche mit einfach zu bedienenden Funktionen und Einstellungen. Dadurch kann der Anwender die gesamte Maschine schnell einrichten und steuern. PLA 500F ist äußerst vielseitig einsetzbar und bietet eine Reihe von Optionen, um die meisten Produktions- und Forschungsanforderungen zu erfüllen. Seine hohe Genauigkeit und Zuverlässigkeit macht es zu einer idealen Wahl für jede Waferbearbeitungsanwendung.
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