Gebraucht CANON PLA 501 F #9301426 zu verkaufen

CANON PLA 501 F ist ein automatischer Maskenausrichter für Mikrolithographieverfahren. Es nutzt hochpräzise Funktionen wie eine motorisierte Handstufe mit Submikron-Auflösung, eine Ultra-Niederdruck-Kontaktvorspannung und eine digitale Rückkopplungsschleife, um eine optimale Fokussierung und Ausrichtung von Maske und Wafer zu erreichen. Dies trägt dazu bei, den Zeitaufwand für das Einstellen der Maske deutlich zu reduzieren und die Kosten und die Durchlaufzeit deutlich zu senken. Zu den Funktionen gehören auch eine eingebaute Lichtquelle, eine Reinraumsammelausrüstung und digitale Bildgebungssysteme, um Maske und Wafer genau auszurichten. Das fortschrittliche optische Design von CANON PLA-501F bietet eine intensive Beleuchtung bei Wellenlängen zwischen 240 und 330nm und ermöglicht eine genaue Erkennung kleiner Merkmale der Maske. Leistungsstarke Elektronenstrahltechnologie sowie eine Reihe von Präzisionslinsen und Aberrationstestern erhöhen die Klarheit der beleuchteten Maske weiter. Das System umfasst auch anspruchsvolle Sensoren und Steuerungsmechanismen, um hohe Genauigkeit und Präzision auch bei kleinen Fehlstellungen und Prozessvarianten zu erhalten. PLA 501F wurde entwickelt, um eine überlegene Wafer-zu-Maske-Genauigkeit mit einem automatisierten Maskenplatzierungsfehler von 0,001 Mikrometer pro Achse zu bieten. Damit ist sichergestellt, dass die fertigen Mikrolithographie-Produkte von höchster Qualität sind. Die Maschine hat eine Auflösung von besser als 1 nm, und sein maximaler Belichtungsbereich ist 8 Zoll quadratisch mit einem Spalt von 20mm oder weniger. Es enthält auch eine Vielzahl weiterer Funktionen, wie eine automatische Druckgeschwindigkeit von bis zu 8 Sekunden, EPC-Reiniger-Fähigkeit zur Reduzierung der chemischen Exposition und einen eingebauten Laserdrucker, um die Masken bei Fehlern zu reproduzieren. PLA 501 F verfügt über zahlreiche Sicherheitsmerkmale, wie eine Intra-Frame-Sicherheitswarneinheit und ein berührungsempfindliches Bedienfeld, um Fehler während des Ausrichtvorgangs zu vermeiden. Darüber hinaus kann die Maschine mit einer Reihe anderer Werkzeuge und Geräte wie Metallisierer, Resistdrucker, Kühlwalzen und mehr integriert werden, um einen möglichst umfassenden Mikrolithographieprozess zu ermöglichen.