Gebraucht CANON PLA 501 FA #293621589 zu verkaufen
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ID: 293621589
Wafergröße: 3"-4"
Mask aligners, 3"-4"
Mask size: 4", 5"
Thickness: 0.06", 0.09".
CANON PLA 501 FA ist ein hochmoderner Masken-Aligner, der Anwendern ein hohes Maß an Genauigkeit und Präzision in ihrer Photolithographie-Verarbeitung bietet. Es eignet sich sowohl für pädagogische als auch für industrielle Anwendungen. CANON PLA-501FA wurde entwickelt, um eine sehr hochauflösende Maskenübertragung und Wafer-Positionierung mit einer Ausrichtungsgenauigkeit von weniger als 3 μ m (oder 0,12 mils) zu ermöglichen. Es verfügt über eine Ausrichtungsausrüstung, die eine 4-Achsen-Fahrstufe mit einem optischen Sensor kombiniert, so dass Benutzer einfache und genaue Registrierung von Masken mit hohem Vertrauen. Zusätzlich kann das System sowohl SMIF- und ProSTEP-Formate als auch CanLiv 5.5 und größere Photomasken aufnehmen. Das Gerät bietet auch mehrere weitere Vorteile, wie seine schnelle Wafer-Ladefunktionen und eine Belichtungsmaschine mit 33,4 msec Belichtungszeit, eine 3600 X 3600 dpi Auflösung und eine Druckgenauigkeit von 1,2 μ m (oder 0,049 mils). In Bezug auf die eingebauten Sicherheitsmerkmale umfasst PLA 501FA einen Notstoppschalter und Lichtvorhänge sowie ESD-Schutz und ein Auto-Wartungs-Tool. Darüber hinaus ist die Anlage für die Sicherheit nach ISO 9001, EN -9002 und JIS-Normen zugelassen. CANON PLA-501 FA verwendet Linearmotoren mit Direktantrieb, die dafür sorgen, dass sich die Bühne immer in stabiler Bewegung befindet und das mechanische Spiel entfällt. Darüber hinaus verfügt es über eingebaute Feuchte- und Temperatursensoren, die entsprechend den spezifischen Bedingungen und Anforderungen des Anwenders eingestellt werden können. Schließlich ist dieses Modell auch mit einer Anti-Ripple-Funktion ausgestattet, die Umgebungsgeräusche reduziert und die Druckgenauigkeit und Stabilität verbessert. Insgesamt ist CANON PLA 501FA eine ausgezeichnete Wahl für industrielle und pädagogische Anwender, die ein zuverlässiges, genaues und benutzerfreundliches Photolithographiemodell suchen. Die verschiedenen Sicherheitsmerkmale und die Präzisionsausrichtung machen es zu einer idealen Option für eine Vielzahl von Anwendungen.
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