Gebraucht CANON PLA 501 FA #293652732 zu verkaufen

CANON PLA 501 FA
Hersteller
CANON
Modell
PLA 501 FA
ID: 293652732
Wafergröße: 4"-5"
Mask aligners, 4"-5".
CANON PLA 501 FA ist ein Maskenausrichtwerkzeug zur Herstellung mikroelektronischer Geräte. Dieser Aligner ist so ausgelegt, dass er bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen und integrierten Schaltungsbauelementen mit hoher Präzision Photomasken oder Retikeln auf einem Substrat genau positioniert. Das Gerät verfügt über ein hochgenaues optisches Ausrichtungssystem und ein CCD-kamerabasiertes Abbildungssystem. Die Maschine wurde entwickelt, um die Genauigkeit des Maskenplatzierungsprozesses durch ihre automatisierten Ausrichtungsfunktionen sicherzustellen. CANON PLA-501FA besteht aus zwei Sätzen von Steilfeldlinsen, die jeweils zwei Objektive, zwei Okulare, zwei Lichtstrahlen und einen rotierenden Revolver enthalten. Die Lichtstrahlen dienen zur Ausrichtung, während sich der Revolver dreht, um die Maschine entweder manuell oder automatisiert ausrichten zu können. Der Präzisionsbetrieb des Aligners ermöglicht eine Ausrichtgenauigkeit von bis zu 20 Mikrometern bei einer Geschwindigkeit von 500 Ausrichtungsabtastpunkten pro Sekunde. PLA- 501FA verfügt über eine Vielzahl von Funktionen, mit denen Operatoren ihre Ausrichtungsoperationen anpassen können. Diese Merkmale umfassen einen Dreharm, der zum Drehen und Scannen der Maske oder des Retikels vor der Platzierung verwendet wird, einen Stempel- oder Die-to-fiducial-Ausrichtungsmodus, eine rückseitige Ausrichtung, einen Bildübertragungsausrichtungsmodus und eine automatisierte Auswahl des Ausrichtungsmodus. Der Aligner bietet auch Bildaufnahmefähigkeiten für hochauflösende Bilder der Maske zur Verwendung in der weiteren Analyse oder zur Einhaltung von Qualitätsstandards. Aufgrund seiner Genauigkeit und Wiederholbarkeit ist CANON PLA 501FA ein ideales Werkzeug für die Großproduktion von mikroelektronischen Geräten. Das Gerät kann Retikel genau ausrichten, bei der Schablonenerstellung unterstützen und die Qualitätskontrolle im Produktionsprozess verbessern. Der Aligner bietet auch vergleichende Ausrichtungsmöglichkeiten, um Fehlererkennung zwischen Mustern durch Vergleich der Optik über Retikel auf demselben Substrat zu ermöglichen. Darüber hinaus lässt sich der Aligner problemlos in bestehende Produktionslinien integrieren, was ihn zu einer wertvollen Investition für jede Produktionsstätte macht.
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