Gebraucht CANON PLA 501 FA #9030659 zu verkaufen

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Hersteller
CANON
Modell
PLA 501 FA
ID: 9030659
Parallel light UV wafer mask aligner Olympus trinocular microscope head (1) Pair of 10x W.F. eyepieces (1) Pair of Ushio HB-25102AP mercury lamp power supplies.
CANON PLA 501 FA Maske Aligner ist eine hochgenaue und kostengünstige Photolithographie-Ausrüstung für fortschrittliche Verpackungs- und Chipmontageanwendungen. Das System verfügt über eine große Sichtfeld (FOV) von 310 × 310 mm und eine hochauflösende 0,125 μ m Schrittlinse, um eine genaue Platzierung und Ausrichtung der Substrate zu gewährleisten. Das Gerät verfügt außerdem über zwei unabhängige Substratstufen mit 8 "und 12" Schlitten zur Aufnahme von Substraten mit einem Durchmesser von bis zu 24 ", die ein schnelles und einfaches Be- und Entladen der Maske, eine Substratbewegung und eine Fokuseinstellung ermöglichen. Das fortschrittliche optomechanische Design und die leistungsstarke Optoelektronik der Maschine führen zu schnellen Belichtungsgeschwindigkeiten und einer präzisen Ausrichtung für gleichbleibend hohe Erträge an fortschrittlichen Paketen oder großformatigen Chips. Für die Mustergenauigkeit ist CANON PLA-501FA mask aligner mit einem automatischen Wafer Alignment (AWA) -Werkzeug ausgestattet, das einen fortschrittlichen Algorithmus enthält, der Variationen in Form oder Oberflächenunregelmäßigkeiten des Masken-/Substratmaterials berücksichtigt. Dies gewährleistet eine genaue und präzise Ausrichtung der Maske während der Belichtung. Darüber hinaus ermöglicht die benutzerfreundliche grafische Benutzeroberfläche (GUI) des Asset den Anwendern, die Lithographieparameter schnell und einfach anzupassen, um Belichtungszeiten zu optimieren und Modellfehler zu kompensieren. PLA 501FA verfügt auch über ein optionales Laser-Interferometer, das sowohl die Positioniergenauigkeit als auch die Belichtungszeit verbessern kann und höchste Qualitätsergebnisse gewährleistet. Weitere Merkmale des CANON PLA 501FA Maskenausrichters sind ein vereinfachtes Wartungsverfahren, ein Reinigungszeitgeber und eine einstellbare Dosissteuerung. Das Wartungsverfahren verfügt über automatische Abschaltung und Neustart, um sicherzustellen, dass die Ausrüstung immer in einwandfreiem Zustand ist. Der Reinigungszeitgeber kann auch in jedem bevorzugten regelmäßigen Abstand wirksam werden, so dass das System stets sauber und frei von Schmutz oder Rückständen bleibt. Die einstellbare Belichtungsdosissteuerung ermöglicht eine Feinabstimmung der Belichtungszeit, was zu qualitativ hochwertigen Bildern führt, die sehr reproduzierbar sind. PLA 501 FA Maske Aligner ist ein wertvolles Werkzeug, das verwendet werden kann, um schnell und präzise hochauflösende Bilder für erweiterte Paket- und Chip-Montageanwendungen zu produzieren. Seine große FOV, hochauflösende Optik, erweiterte Mustergenauigkeit und Benutzerfreundlichkeit machen es zu einer idealen Wahl für viele verschiedene Halbleiter/Chip-Designs.
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