Gebraucht CANON PLA 501 FA #9142669 zu verkaufen
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ID: 9142669
Wafergröße: 2"
Weinlese: 1988
Mask aligner, 2"
Process: Photolitho
1988 vintage.
CANON PLA 501 FA ist ein vollautomatischer Maskenausrichter, der speziell für die Halbleiterverpackungs- und Hybridindustrie entwickelt wurde. Dieses Gerät bietet eine Hochleistungsmusterverarbeitungslösung mit 4 Mikron an, die Genauigkeit positionieren, um Fotomaskenanordnungsaufgaben schnell zu beenden. CANON PLA-501FA ist Teil der Baureihe 5000 Maskenausrichter und dient als führendes Photolithographiesystem für präzises Photoplotting und andere Schlüsselproduktionsprozesse. Es ermöglicht die direkte Abbildung auf Quarz- oder Paneelmaster mit UV-Lasern, so dass eine Echtzeit-Maskenbelichtung möglich ist, ohne dass Schritte für die Filmverarbeitung erforderlich sind. PLA 501FA ist mit verschiedenen erweiterten Funktionen ausgestattet, die seine Benutzerfreundlichkeit und Genauigkeit verbessern. Es ist mit einem Mikropositioniersystem auf Nanometerebene für eine präzise Ausrichtung zwischen Ausrichtungsmarke und Muster der Probenplatte gebaut. Darüber hinaus verfügt es über einen vollautomatischen Wafer-Retikel-Austauschmechanismus, der die Prozesszeit und die Chance auf menschliches Versagen reduziert. Das Gerät verfügt auch über einen erweiterten diffusen Reflexionsdeckungssensor, der die gesamte Betriebsoberfläche für eine verbesserte Lithographie-Verarbeitung und eine genauere Belichtungssteuerung überwacht. PLA 501 FA kann auch an einen PC angeschlossen werden, um das Gerät anzuschließen und zu steuern und gleichzeitig die Archivierung von Photolithographieaufträgen zu ermöglichen. Die Kombination aus PLA-501 FA und einem PC ermöglicht eine Echtzeit-Überwachung der Maskenbelichtung, was die Betriebseffizienz verbessert. Das Gerät ist auch betriebsbereit, ohne dass zusätzliche Vorbereitungszeit oder spezielle Einstellungen erforderlich sind. PLA-501FA ist auch ein robustes und zuverlässiges System aufgrund seiner energieeffizienten, sehr langlebigen Komponenten. Zusammen mit einer ausgezeichneten Waferausrichtgenauigkeit von 4 μ m zwischen Marke und Wafer/Maske helfen diese Komponenten dem Aligner, die Spitzenleistung ohne Verschleiß aufrechtzuerhalten. Damit eignet sich das Gerät für den Einsatz in Branchen mit hohen Produktionsanforderungen und schnelllebigen Arbeitsabläufen. Schließlich ist CANON PLA 501FA für wartungsarme Operationen konzipiert und kann über längere Zeiträume laufen, ohne dass Wartungs- oder Kalibrierungsprüfungen erforderlich sind. Es ist auch kompatibel mit den meisten Quarz- oder Hybridplatten und Substraten, so dass es eine gute Wahl für verschiedene industrielle Disziplinen.
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