Gebraucht CANON PLA 501 FA #9226071 zu verkaufen

CANON PLA 501 FA
Hersteller
CANON
Modell
PLA 501 FA
ID: 9226071
Wafergröße: 5"
Weinlese: 1996
Aligner, 5" 1996 vintage.
CANON PLA 501 FA ist ein computergesteuerter Maskenausrichter zur Verarbeitung und Ausrichtung elektronischer Geräte. Die Ausrichtungsgenauigkeit dieser Vorrichtung ist auf die Anforderungen der fortschrittlichen Industrie, wie hochdichte integrierte Logikschaltung und Mischkreissubstrate, ausgelegt. CANON PLA-501FA bietet die geforderte genaue Ausrichtungsgenauigkeit und maximalen Durchsatz sowie Unterstützung für verschiedene Substrate. PLA 501FA verwendet eine 6-Zoll-Ausrichtungsplattform mit 2,7 Mikrometer Wiederholgenauigkeit. Es gibt eine duale parametrische Fokusausrüstung und eine hochpräzise V-Nut motorisierte Stufe, um die notwendige Präzision für die Substratausrichtung zu bieten. Darüber hinaus verfügt der Aligner über eine einstellbare Fokus-Optik, die hilft, den Fokus von oben und unten des Substrats einzustellen und dadurch die Ausrichtgenauigkeit zu verbessern. Der Aligner ist außerdem mit einem automatischen Waferlader zum einfachen Be- und Entladen von Substraten ausgestattet. PLA-501FA bietet auch eine breite Palette von Betriebsarten für verschiedene Anwendungen. Dazu gehören Rot-Grün (RG) -Funktionalität, Global Align (GA) -Funktion für Substrate mit komplexen Wafermustern, lokales Align (LA) für Substrate mit lokalen Mustern und mehrere Ausrichtungsfunktionalitäten. Der erweiterte Mustererkennungsmodus ermöglicht es dem Benutzer auch, eine große Anzahl von Mustern in einem einzigen Schritt zu laden. Die Steuerung PLA-501 FA erfolgt über die Software CANON EPSOFT. Diese Software bietet automatische Substrat-, Muster- und Prozessauswahl und ermöglicht auch die manuelle Eingabe von Daten. Die Software ermöglicht die on-the-fly Dokumentation jedes Prozesses, einschließlich Details der Substrat-, Prozess- und Spurennamen, sowie die dynamische Aktualisierung von Statistiken im Zusammenhang mit der Substratregistrierung und -ausrichtung. Zusammenfassend ist PLA 501 FA ein computergesteuerter Maskenausrichter, der für die hochpräzise Ausrichtung und Verarbeitung elektronischer Geräte ausgelegt ist. Es verfügt über eine 6-Zoll-Ausrichtungsplattform, 2,7 Mikrometer Wiederholbarkeit Genauigkeit, dual parametrische Fokuseinheit, einstellbare Fokus optische Maschine, erweiterte Mustererkennung Modus und CANON EPSOFT Software. Es ist ideal für den Einsatz in der fortschrittlichen Herstellung von integrierten Schaltungen mit hoher Dichte sowie von Mischkreissubstraten.
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