Gebraucht CANON PLA 501 FA #9226338 zu verkaufen

CANON PLA 501 FA ist ein hochentwickelter Maskenausrichter, der für den Einsatz in der Halbleiterindustrie entwickelt wurde. Es wird in der Photolithographie verwendet, um optische Masken genau zu positionieren und Muster auf das Substrat zu übertragen. Der Aligner bietet eine hervorragende Genauigkeit und eine hohe Wiederholbarkeit mit einer Ausrichtgenauigkeit von 50nm. CANON PLA-501FA verwendet ein fortschrittliches Projektionsmikroskop mit einer Vergrößerung von 10x bis 30x, das aus einem Binokularmikroskop, einer Bildaufnahmeeinrichtung, einer Montagestufe, einem Strahlteiler, einer optischen Relaiseinrichtung und einer telezentrischen Linse besteht. Das Mikroskop verfügt über eine einzigartige HAD Catadioptric optisches System, um überlegenen Kontrast und Auflösung zu liefern. Das Mikroskop verfügt zudem über eine automatische Zentrierfunktion und einen Autofokus, um eine möglichst hohe Genauigkeit zu gewährleisten. PLA 501FA ist in der Lage, verschiedene Substratmaterialien wie Glas, Silizium, Low-K-Dielektrika und keramische Substrate anzusprechen und eine Ausrichtung auf Teststrukturen zu ermöglichen. Der Aligner ist außerdem mit einer Luftbildaufnahmeeinheit ausgestattet, die zur Detektion von Ausrichtmarken auf den Wafern dient. Die Maschine besteht aus einer Digitalkamera, einem Schrittmotor, einem Z-Antrieb und einem Plattenspieler. PLA-501 FA verfügt über eine Werkzeugsteuerung mit Touchscreen-Schnittstelle zur Steuerung des gesamten Ausrichtungsprozesses. Es wird mit einer Reihe von Onboard-Programmen geliefert, die zur Optimierung des Ausrichtungsprozesses verwendet werden können. Die Steuerung weist außerdem einen umfassenden Satz von Ausrichtwerkzeugen auf, die eine optische Kantenerkennungsfunktion, eine asymmetrische Ausrichtungsfunktion und ein einzigartiges Kantenerkennungsprogramm umfassen. CANON PLA 501FA aligner eignet sich aufgrund seiner Fähigkeit, hohe Durchsatzgeschwindigkeiten und eine außergewöhnliche Ausrichtungswiederholbarkeit für den Einsatz in serienreichen Umgebungen. Die Anlage ist hocheffizient und bietet beeindruckende Zykluszeiten von weniger als 5 Sekunden mit einem typischen Durchsatz von bis zu 250 Wafern pro Stunde. Insgesamt ist PLA-501FA ein unglaublich fortschrittlicher Maskenausrichter, der außergewöhnliche Genauigkeit bietet und für den Einsatz in Serienumgebungen geeignet ist.