Gebraucht CANON PLA 501 FA #9269096 zu verkaufen

CANON PLA 501 FA ist ein kompakter, vollautomatischer Maskenausrichter, der speziell für Maskenmuster und Lithographie entwickelt wurde. Dieser Maskenausrichter verfügt über eine integrierte Laserausrichtung mit fünf Mikrometer Genauigkeit und vollautomatisierten Ausrichtverfahren. Der Masken-Aligner verwendet einen Zweifeder-Schrittmotor-Stufenmechanismus, um kleinvolumige Substrate sowie größere Substrate bis zu 6 Zoll genau zu strukturieren. Darüber hinaus ist die 501 FA in der Lage, einzelne oder mehrere Schichten aus leitfähigen und isolierenden Materialien zu strukturieren, ohne dass ein zusätzlicher Abhebevorgang erforderlich ist. CANON PLA-501FA verfügt über ein Ultrahochvakuumsystem für die Niedertemperaturverarbeitung sowie eine E-Strahlquelle und mehrere programmierbare Belichtungslinsen. Die dual-pädagogische Einheit umfasst Phasenschiebeausrichtung und Fensterausrichtung, um maximale Genauigkeit bei der Ausrichtung von Funktionen kleiner als ein Mikron zu gewährleisten. Eine zusätzliche Small Area Mapping (SAM) Maschine ermöglicht PLA- 501FA, die Musterdichte auf Präzisionsgeräten zu erhöhen. Darüber hinaus verfügt der Masken-Aligner über einen zweidimensionalen Kraftsensor, um den Status des Werkzeugs und eine Vielzahl von hochauflösenden Retikeln wie Chrom und Chrom auf Nitrid automatisch zu überwachen. PLA-501 FA ist vollautomatisiert und somit ideal für integrierte Schaltungen und andere Muster, die eine präzisere Lithographie erfordern. Alle Funktionen des Maskenausrichters sind automatisiert, wodurch manuelle Operationen und lange Rüstzeiten entfallen. Darüber hinaus hat die motorisierte Stufe die Fähigkeit, 90 Grad für erhöhte Produktivität und Genauigkeit zu drehen. Weitere Merkmale sind eine intuitive Mensch-Maschine-Schnittstelle, eine breite Palette von Bildgebungsoptiken und eine breite Palette von Musterlösungen aus Hochleistungs-Ätzlösungen. CANON PLA-501 FA ist speziell für die präzise Ausrichtung und Strukturierung einer Vielzahl von Materialien, einschließlich Cu- und Al-Schichten, konzipiert. Das Werkzeug ist auch in der Lage, Submikronlithographie, so dass es ideal für eine Vielzahl von Maskierung und Lithographie-Anwendungen. Darüber hinaus verfügt es über integrierte mehrere Durchsätze und automatisierte Handhabungstechniken, was es zu einer idealen Wahl für budgetfreundliche Maskierungslösungen macht. Darüber hinaus ermöglicht die benutzerfreundliche Oberfläche die einfache Programmierung und Bedienung, sodass sie von Ingenieuren auf jeder Ebene verwendet werden kann. Kurz gesagt, CANON PLA 501FA ist ein fortschrittlicher, zuverlässiger und einfach zu bedienender Maskenausrichter, der hohe Genauigkeit und Flexibilität für kleine und große Lithographie- und Musteranwendungen bietet.