Gebraucht CANON PLA 501 FA #9270090 zu verkaufen

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Hersteller
CANON
Modell
PLA 501 FA
ID: 9270090
Wafergröße: 4"
Mask aligner, 4" Automatic wafer handling Round chuck.
CANON PLA 501 FA ist ein automatisierter Maskenausrichter für präzise Photolithographie und Waferverpackung. Das Gerät ist vollständig computergesteuert, so dass der Benutzer Parameter von einer zentralen Steuereinheit einrichten, überwachen und einstellen kann. Das System umfasst erweiterte Funktionen sowohl für UV-Exposition als auch für Wafer-Verpackungen. CANON PLA-501FA ist ein 5-Achsen-Ausrichtwerkzeug, das eine ultrapräzise Ausrichtung von Photomasken auf Substrate ermöglicht. Die Einheit umfasst eine x-y-Drehstufe mit Mittelpunktkorrektur und eine z-Achsen-Stufe zur Steuerung der Substrathöhe. Zusätzlich wird eine Katzenaugenkamera verwendet, um die Ausrichtung des Substrats auf die Maske zu erkennen. PLA 501FA ist in der Lage, hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit für die Ausrichtung von Photomasken und Substraten zu liefern. CANON PLA-501 FA verfügt über zwei Belichtungsmodi, nämlich Flipping und Doppelbelichtungsmodus. Unter Ausnutzung eines kippbaren Polarisationszustandes der Lichtquelle kann sowohl die Vorderseite als auch die Rückseite des Substrats gleichzeitig belichtet werden. Dies hilft bei der Optimierung des Durchsatzes bei gleichzeitiger Minimierung von Verzerrungen durch die Lichtquelle. Darüber hinaus bietet PLA-501 FA eine Reihe fortschrittlicher Funktionen für Verpackungsanwendungen auf Waferebene. Die Niedertemperatur-Klebeoption der Maschine eignet sich ideal zum Verkleben empfindlicher Chips. Das Tool verwendet auch fortschrittliche Verkapselungstechniken, um Baugruppen vor Feuchtigkeit und Staub zu schützen. Darüber hinaus umfasst PLA 501 FA die Markierungserkennung mit PID (Positionsmelder), um die Genauigkeit der Baugruppe sicherzustellen. Insgesamt ist PLA-501FA ein fortschrittlicher Masken-Aligner, der hervorragende Leistung in der Präzisions-Photolithographie und in der Verpackung auf Waferebene bietet. Das Asset ist in der Lage, mit seiner Vielzahl an erweiterten Funktionen und Funktionen konstant zuverlässige Ergebnisse zu erzielen.
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