Gebraucht CANON PLA 501 FA #9328888 zu verkaufen

Hersteller
CANON
Modell
PLA 501 FA
ID: 9328888
Wafergröße: 5"
Mask aligner, 5" Gases: N2: Maximum pressure: 3.5 kg/cm² Maximum flow: 10 LPM Pipe: SUS316 Connector: SWAG Caliber: 1/4" CDA Vacuum Mercury lamp: 250 W Wafer exposure, 5" Washing water containing organic solvent: Pipe: PP Connector: SWAG Caliber: 2" Ground: 1 ohm Manual included Power supply: 220 V, Single phase, 3-wires, 1.6 A Lamp power supply: 110 V, Single phase, 3-wires, 5.5 A.
CANON PLA 501 FA ist ein Masken-Aligner der CANON Anelva Corporation. Es ist für den Einsatz in verschiedenen Herstellungsverfahren von Halbleiterbauelementen konzipiert und verfügt über ein hochpräzises, formstrukturiertes Design, das eine genaue Ausrichtung von Photomasken auf das Substrat ermöglicht. Der Maskenausrichter ist in der Lage, eine genaue Ausrichtung mit 0.3µm Wiederholbarkeit und 1µm Genauigkeit zu gewährleisten. Das Gerät unterstützt eine breite Palette von Substraten, einschließlich Quarz, Silizium und sogar GaAs, und wurde für eine hohe Kompatibilität mit einer Vielzahl von Photomasken konzipiert. Das System verfügt über eine leistungsstarke, hochauflösende optische Einheit, die eine Lichtintensitätsregelung jenseits von 10-5 Stufen, schnelle Belichtungszeiten und einfache Anpassung der Belichtungsbedingungen ermöglicht. Die Kombination aus Lichtintensitätssteuerung, Ausrichtgenauigkeit und schnellen Belichtungszeiten, die CANON PLA-501FA bietet, macht es für eine Vielzahl von Anwendungen geeignet, einschließlich Photolackbelichtung, Trockenätzen, Löten und Verpackung. Der Maskenausrichter verfügt über ein großes, hochintuitives Touch-Panel-Bedienfeld, das eine einfache Bedienung und Einstellung ermöglicht. Es bietet auch eine integrierte Sicherheitswarnmaschine, die den Benutzer bei Problemen mit dem Tool benachrichtigt. Darüber hinaus verfügt das Asset über Soft-Start-Technologie, die Vibrationen und thermische Verzerrungen reduziert, um die Ausrichtungsgenauigkeit weiter zu erhöhen. Die erweiterten Funktionen des Modells werden durch eine Vielzahl von Hardware- und Softwarekomponenten ermöglicht, darunter einen hochauflösenden CCD-Bildsensor, eine fortschrittliche Laserbildausrüstung, XYZ-Achsen mit hoher Genauigkeit und eine integrierte Software-Suite, die eine einfache Anpassung von Parametern wie Ausrichtungsgenauigkeit, Belichtungszeit und mehr ermöglicht. Insgesamt ist PLA 501FA mask aligner ein leistungsfähiges und präzises System, das eine ausgezeichnete Ausrichtungsgenauigkeit mit einer breiten Palette von Substraten bietet. Es eignet sich gut für eine Vielzahl von Herstellungsverfahren für Halbleiterbauelemente und bietet fortschrittliche Funktionen wie Lichtintensitätssteuerung, schnelle Belichtungszeiten, Soft-Start-Technologie, ein intuitives Touch-Panel-Bedienfeld und vieles mehr.
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