Gebraucht CANON PLA 501 FA #9384106 zu verkaufen

CANON PLA 501 FA ist eine automatisierte Laserbelichtungsanlage, die für einstufige Lithographieverfahren ausgelegt ist. Es ist ein ideales Werkzeug für fortgeschrittene Forschung oder Entwicklung in der Mikroelektronik Geräte, Nanotechnologie, Photonik und Optoelektronik. Das System besteht aus zwei Komponenten: dem Projektor und der Bühne. Das Projektormodul ist eine hochpräzise Optikeinheit, die von einem Festkörperlaser mit einer Wellenlänge von 532 nm angetrieben wird und von Schrittmotoren gesteuert wird. Der Projektor arbeitet mit einem hochauflösenden kontinuierlich abtastenden Strahl, der einen reibungslosen Fokus, Belichtung und Scan bietet. Dies ermöglicht eine präzise Lithographie mit einer Genauigkeit von 1 µm oder besser. Das Optikmodul nutzt zudem ein hochauflösendes optisches Mikroskop, um live mikroskopische Bilder mit dem Lithographieverfahren zur präzisen Prozesssteuerung und Rückkopplung zu versehen. Das Bühnenmodul beherbergt Substrat, Maske und eine automatische Ausrichtmaschine sowie eine Reihe weiterer Komponenten, die für unterschiedliche Lithographievorgänge konfiguriert werden können. Die Bühne besteht aus einem geschlossenen, bewegungssteuernden Werkzeug, ausgestattet mit genauen Bewegungsstufen, kombiniert mit Absolute Position Registry Asset (APRS) zur präzisen Ausrichtung. Diese Elemente ermöglichen eine hochpräzise Positionierung in bis zu 6-