Gebraucht CANON PLA 501 FA #9395478 zu verkaufen
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CANON PLA 501 FA ist ein Hochleistungs-Maske-Aligner für die Produktion. Es bietet erweiterte Prozessfunktionen und gleichzeitig hohen Durchsatz, hohe Präzision und einfache Bedienung. CANON PLA-501FA verfügt über eine neu entwickelte optische Laserausrüstung, eine Laserquelle mit niedriger Wiederholrate und automatisierte Prozesse zur Ausrichtung und Beladung von Wafern. Das laseroptische System von PLA 501FA erleichtert die Feinausrichtung von Substraten und Masken. Die Low Repetition Rate Laserquelle erzeugt schnelle und präzise Belichtungen, was zu minimalen Wärmeschäden des Substrats und der Masken während des Ausrichtungsprozesses führt. Die automatisierten Prozesse vereinfachen die Substrat- und Maskenausrichtung und bieten einen hohen Durchsatz. Der integrierte Wafer-Controller ermöglicht maximale Flexibilität bei der automatisierten Waferbelastung sowie eine erhöhte Produktivität und eine verbesserte Gleichmäßigkeit des Ausrichtprozesses. CANON PLA-501 FA ist in der Lage, bis zu einer Steigung von 25 nm zu belichten, und ist in der Lage, Toleranzen zu erzielen, die besser sind als der Stand der Technik für Overlay und Fokus. Das Gerät nutzt einen Belichtungskopf, der 1440 nm Expositionen für 5x Reduktionsmöglichkeiten bietet. Die Spezifikationen für Optik und Elektronik unterstützen 25 bis 80.000nm Pulsraten. Sowohl manuelle als auch automatische Ausrichtungen können mit CANON PLA 501FA durchgeführt werden, was es zu einer flexiblen und zuverlässigen Maschine für Produktionsanforderungen macht. PLA-501FA bietet auch eine Reihe von Sicherheits- und Qualitätssicherungsfähigkeiten. Es kann mit einem UltraViolet-Werkzeug zur ölfreien Ausrichtung konfiguriert werden. Das fortschrittliche Sicherheitskonzept sorgt dafür, dass alle Komponenten für höchste Sicherheit isoliert sind. Eine fortschrittliche Kühlanlage wurde entwickelt, um sicherzustellen, dass das Modell bei einer stabilen Temperatur arbeitet, um eine optimale Leistung zu erzielen. PLA 501 FA wurde entwickelt, um maximale Qualität und Durchsatz bei minimaler Wartung zu bieten. Seine fortschrittlichen Funktionen machen es zu einer ausgezeichneten Wahl für Wafer und Maskenausrichtung in Produktionsumgebungen. Mit hervorragenden Prozessfähigkeiten, hochpräziser Belichtung und integrierten Sicherheitsfunktionen bietet PLA-501 FA eine kostengünstige Lösung für Produktionsanforderungen.
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