Gebraucht CANON PLA 501 FA #9396180 zu verkaufen
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CANON PLA 501 FA ist ein halbautomatischer hochauflösender Masken-Aligner, der darauf ausgelegt ist, präzise und präzise auf die Membran geschriebene Muster auf eine Waferoberfläche zu übertragen. Das Gerät verfügt über einen sehr leistungsstarken 10 mW He-Cd Laser, der die Erzeugung von gleichbleibend hochwertigen und hochauflösenden Bildern auf dem Wafer ermöglicht. Damit die Maske korrekt ausgerichtet und präzise gedruckt wird, implementiert die 501 FA ein Feinausrichtungssystem bestehend aus drei hochgenauen Mikrometern, einer geneigten Stufe und einer X-Y-Stufe. Der 501 FA hat nicht nur eine hervorragende Musterauflösung, sondern ist auch aufgrund seiner automatisierten Funktionen einfach zu bedienen. Merkmale wie Wafer-Ausrichtung, Wafer-Klemmung und Resist-Belichtung werden alle automatisch durch die 501 FA durchgeführt. Zusätzlich können Belichtungsparameter gesteuert und angepasst werden, um eine präzisere Ausrichtung und Belichtung zu gewährleisten. Für eine optimale Photopolymerbelichtung nutzt die 501 FA 4-Quadranten- und 8-Quadranten-Belichtungsstufen, die separat oder gemeinsam eingesetzt werden können. Dies ermöglicht die Belichtung präzise ausgerichteter Muster mit einer minimalen Belichtungszeit bei gleichzeitig überlegener Muster- und Overlay-Genauigkeit. In Bezug auf Stabilität und Haltbarkeit hat der 501 FA einen starren kompakten Körper und einen Großrechnerkörper in modularer Bauweise, wodurch er sowohl gegen Vibrations- als auch Temperaturänderungen beständig ist. Darüber hinaus hält das eingebaute Kühlsystem eine konstante Temperatur aufrecht, was über lange Zeiträume zu konsistenterer und zuverlässigerer Leistung führt. Um die Produktivität zu verbessern und den Durchsatz zu erhöhen, verfügt die 501 FA über eine Reihe von Erweiterungsfunktionen wie automatisches Starten, automatische Waferverschiebung, Mehrfachparameterspeicher, Layer-Mapping und Echtzeit-Musterausrichtung. Kurz gesagt, der 501 FA verkörpert den modernen Maskenausrichter mit seiner Schneide, automatisierten Funktionen, hochauflösender Laseroptik und robustem Design.
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