Gebraucht CANON PLA 501 S #37944 zu verkaufen
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CANON PLA 501 S ist ein computergesteuerter Maskenausrichter zur Ausrichtung einer Photomaske (oder eines Retikels) auf einen Wafer aus Halbleitermaterial. Dieser Aligner ist eine hochpräzise Vorrichtung, die eine Genauigkeit des Nanometers während der Belichtung der Photomaske auf den Wafer ermöglicht. Mit einer unabhängigen XYZ-Quarzstufe und austauschbarer Optik kann CANON PLA 501S eine Belichtungsgenauigkeit von bis zu 1,5 µm erreichen. PLA-501S verwendet eine beleuchtete Photomaskenstufe mit 5 "Durchmesser und einem modularen Aufbau, mit dem der Benutzer auswählen kann, welche Optik für den Belichtungsprozess verwendet wird. Dieses Gerät ist mit einer hochpräzisen Stufe integriert, die zum X-Y-Scannen mit einer Wegstrecke von bis zu 80mm und einer Auflösung von bis zu 1µm geeignet ist. Darüber hinaus ist das Gerät mit einer verstellbaren Kollimator-/Konfokallinsenanordnung und einer motorisierten Fokusausrüstung ausgestattet. 501S zeigt auch ein Hochleistungsaussetzungslasersystem, das zu einer variablen Aussetzung bis zu 300mW/cm2 mit der variablen Frequenz fähig ist. Das Gerät verfügt auch über Belichtungsmuster von bis zu 16 Objektiven pro Belichtung, und der Belichtungsbereich kann für eine breite Palette von Substratgrößen eingestellt werden. Sicherheit ist ein Hauptmerkmal von CANON PLA-501S, da die Maschine mit Lasersicherheiten und eingebauten Sicherheitsmechanismen ausgestattet ist, um sowohl den Bediener als auch die Fotomaske zu schützen. Das Werkzeug ist in einem abgeschirmten Schrank untergebracht, um sicherzustellen, dass keine Störungen durch externe Quellen auftreten. Darüber hinaus ist ein mehrstufiges Sperrelement enthalten, um unbefugten Zugriff auf das Gerät zu verhindern. Insgesamt ist PLA 501S ein vielseitiger und hochgenauer Maskenausrichter, der eine Nanopegel-Belichtungsgenauigkeit für eine breite Palette von Halbleitersubstraten bereitstellen kann. Es ist ein sicheres und benutzerfreundliches Modell, das für schnelle und genaue Maskierungstechniken verwendet werden kann.
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