Gebraucht CANON PLA 501 #293592025 zu verkaufen

CANON PLA 501 ist ein Vollfeldmasken-Aligner, der zur Herstellung von Lithographien und Halbleiterbauelementen verwendet wird. Es ist ein hochpräziser berührungsloser Aligner, der einen Lichtstrahl verwendet, um eine präzise Transferausrichtung zu erreichen, die eine genaue Strukturierung von Merkmalen auf einem Halbleitersubstrat ermöglicht. CANON PLA-501 verfügt über ein hochauflösendes Scangerät und ein High-NA-Objektiv, das eine stark fokussierte Strukturierung mit einem breiten Dynamikbereich ermöglicht. Der verwendete 1050nm Wellenlängenlaser hat einen hohen Kontrast und tiefen Fokus und kann effektiv eine Reihe verschiedener Merkmalsgrößen mit hoher Genauigkeit übertragen. Der hochgenaue, hochauflösende Prozess der Maschine kann ausgerichtete Mikrolithographiemuster mit einer erzielbaren Größe von 0,1 um genau übertragen. Sein Projektionsfeld ist recht groß, so dass eine Vielzahl von Düsengrößen verarbeitet werden kann. Das Photoresist-Beschichtungssystem zeichnet sich durch eine gleichmäßige Beschichtungsfähigkeit mit einer Schichtdickengenauigkeit von innerhalb von 2% aus. PLA 501 ist mit CAD/CAM-Steuerungsfunktion ausgestattet und verfügt über eine neue Mustereinstellung GUI für reduzierte Rüstzeiten und weniger manuelle Bedienungsfehler. Es enthält auch eine Matrix-Layout-Einrichtung mit automatischer Ausrichtung, Neigung und Rotation-Funktionen und eine spezielle Wafer-Mapping-Funktion ist verfügbar, um eine schnelle und genaue Überprüfung der Flachheit des Wafers zu ermöglichen. PLA-501 verwendet eine fortschrittliche Verdunstungskühleinheit, die thermische Effekte und Bewegungsverzerrungen eliminiert und die höchste Genauigkeit und Wiederholbarkeit ermöglicht. Die Maschine läuft mit einer niedrigen Frequenz, die akustische Geräusche während des Betriebs eliminiert. Ein 14-Segment-Bestrahlungsgenerator erzeugt eine gleichmäßige Bestrahlung und ermöglicht einen schnellen wartungsfreien Betrieb. Darüber hinaus ist der Masken-Aligner mit einem fortschrittlichen CMOS-Detektor ausgestattet, der hohe Empfindlichkeit und niedrige Dunkelstrommessungen bietet und dazu beiträgt, jederzeit eine hohe Ausrichtungsgenauigkeit zu gewährleisten. CANON PLA 501 ist eine benutzerfreundliche Maschine, die aufgrund ihrer robusten ineinandergreifenden Maschinen- und Hochgeschwindigkeitsprüffunktionen auch mit einem langen Wartungsintervall sehr zuverlässig ist. Der automatisierbare Prozess und die benutzerfreundlichen Funktionen machen CANON PLA-501 zu einer idealen Wahl für Anwendungen mit hochpräzisen Maskenausrichtern.