Gebraucht CANON PLA 501 #293696568 zu verkaufen

Hersteller
CANON
Modell
PLA 501
ID: 293696568
Wafergröße: 4"
Mask aligner, 4" Chuck size, 4".
CANON PLA 501 ist ein Masken-Aligner für photolithographische Prozesse. Es handelt sich um eine Desktop-Einheit mit integrierter Strahlquelle, Präzisions-X/Y-Bühne und integriertem Bühnencontroller. Das Gerät ist in der Lage, hochauflösende Bilder mit einer Feinauflösung von 1,0 μ m zu erzeugen. Die Strahlquelle hat eine Punktgröße von 0,1 mm und arbeitet mit einer Leistung von bis zu 120 W. Dies ist optimal für die Bildung von Mikrostellen mit präziser Kontrolle über Prozesszeiten und Belichtungsdosierungen. Die X/Y-Stufe ermöglicht eine präzise und wiederholbare Ausrichtung von Substraten und Masken für die Verarbeitung, so dass eine genaue Bildplatzierung möglich ist. Der integrierte Bühnenregler ermöglicht eine präzise Steuerung beider Achsbewegungen. CANON PLA-501 enthält auch ein Trockenluftsystem MIT einem Quarzfilter, um eine saubere Umgebung zu gewährleisten und eine Kontamination der Probe zu verhindern. Es hat ein integriertes Vakuumfutter, um das Substrat zu sichern, und kann Substrate bis zu einer Größe von 100x100mm unterstützen. Zur Bearbeitung einer Probe lädt der Bediener die Probe zunächst auf die X/Y-Stufe, richtet dann das Substrat oder die Maske durch manuelle oder automatische Bewegung aus. Die Belichtung erfolgt dann mit dem sich über die Probe bewegenden Strahlfleck. Nach dem Prozess muss die Probe entwickelt werden, um das erzeugte Muster aufzudecken. PLA 501 ist ein wichtiges Bauelement für eine Vielzahl von Anwendungen in der Halbleiterherstellung und ermöglicht eine präzise Strukturierung von mikroelektronischen Bauelementen. Es bietet eine hervorragende Auflösung, eine präzise Ausrichtung der Proben und einen automatisierten Betrieb für eine zuverlässige und genaue Verarbeitung.
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