Gebraucht CANON PLA 501 #293717420 zu verkaufen
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CANON PLA 501 ist ein vollautomatischer Präzisionsmasken-Aligner, entwickelt für fortschrittliche Mikroelektronik-Forschung und hochpräzise Photolithographie-Anwendungen. Es ist in der Lage, eine hochauflösende Ausrichtung von Substraten und Masken sowie eine schnelle, wiederholbare Bildgebung bereitzustellen. CANON PLA-501 hat eine Werkzeugbühnengröße von 4 Zoll mal 4 Zoll und eine maximale Substrathöhe von 6mm ab der Werkzeugbühne. Es ist mit einer 254nm UV-Laserquelle und einer computergesteuerten galvanometrischen Scanspiegelausrüstung ausgestattet, die eine hochpräzise Ausrichtung ermöglicht. Das System verfügt außerdem über eine XY- und μ Z-Stufe, die hochgenaue Bewegungen des Substrats und der Maske ermöglicht, die den Konfigurationsanforderungen jedes Experiments entsprechen. PLA 501 verfügt über eine ausgeklügelte Belichtungssteuereinheit, mit der Anwender Belichtungsparameter wie Pulsbreite und Wellenlänge, Belichtungszeit und Belichtungsdosisverhältnis anpassen können. Es verfügt auch über einen manuellen Überschreibungsmodus, mit dem der Benutzer Belichtungsparameter manuell einstellen kann, ohne die voreingestellten Werte zu beeinflussen. PLA-501 wird mit einem umfassenden Softwarepaket zur Prozesssteuerung geliefert. Das Softwarepaket ermöglicht es Benutzern, Rezepte zu erstellen, zu bearbeiten und auszuführen, den Prozessstatus zu überwachen und experimentelle Daten zu sammeln. Es ermöglicht auch die Fernbedienung der Maschine, die vollautomatische Belichtungsläufe ermöglicht. Hinsichtlich der Wartung ist CANON PLA 501 mit einem intelligenten Werkzeug zur Selbstwartung ausgestattet, das seine Komponenten regelmäßig überprüft und den Anwender über die erforderliche Wartung informiert. Darüber hinaus ist es mit einer automatischen Reinigungsanlage ausgestattet, die Kontaminationen von Linsen, Maskenstufen und Substraten des Modells entfernt. Insgesamt ist CANON PLA-501 ein hochpräziser Masken-Aligner mit hohem Durchsatz, der sich für die fortschrittliche Mikroelektronik-Forschung und für photolithographische Anwendungen eignet. Es kommt mit einer intuitiven grafischen Benutzeroberfläche, erweiterte Belichtungssteuerung Ausrüstung, intelligente Selbstwartung und automatisierte Reinigungssystem, so dass es eine ideale Wahl für hohe Geschwindigkeit und hochgenaue Herstellung.
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