Gebraucht CANON PLA 501 #293828883 zu verkaufen
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CANON PLA 501 ist ein hochentwickelter und spezialisierter Maskenausrichter, der Mikroskopgeräte mit mikroskopischen Eigenschaften präzise und effizient herstellen kann. Der Aligner verfügt über eine fortschrittliche Ausrichteinrichtung, die ein Vier-Punkte-Zentriersystem kombiniert, das vier langlebige Ausrichtungssensoren mit Laserdioden zur berührungsfreien Messung des Substrats verwendet. Dies gewährleistet eine ausgezeichnete Genauigkeit und Wiederholbarkeit der Substrat-zu-Maske-Registrierung und Ausrichtung. Der Aligner verfügt zudem über eine Präzisionsoptik mit 10X-Mikroskop-Objektiv und 5X-Mikroskop-Okular zur Präzisionskontrolle der Aufnahme und der aufgebrachten Kräfte. Darüber hinaus gewährleistet der steuernde Mikroprozessor eine hohe Genauigkeit bei einem Bereich von 0,1 bis 2 Millionstel Meter. Der Aligner verfügt zudem über eine integrierte Maskenbühne zur schnellen und einfachen Maskenpositionierung, die eine präzise Registrierung von Maske zu Wafer ermöglicht. Die Maskenstufe ist einstellbar, so dass der Benutzer die Menge des Maskenüberhangs ändern kann, was die Fokustiefe erhöht, um einen Bereich von 0,05 bis 0,7 Mikrometer abzudecken. Ein Maskenebene-Servoantrieb mit variabler Geschwindigkeit sorgt für eine präzise Bewegungs- und Positionskontrolle der Maske. Der offene, modulare Aufbau der Maskenbühne sorgt auch in einer überlasteten Laborumgebung für leichte Zugänglichkeit. Die Maske wird mit einer Vakuummaschine gehalten, während die Bühne selbst stabil und wiederholbar ist. Kompatible Masken umfassen lösungsverarbeitete organische Resiststoffe, LED-Resiststoffe, Photoresists, Siliziumdioxid und Metallmasken. CANON PLA-501 Maske Aligner verfügt auch über einen integrierten optischen Messgerät und eine automatische sharpening‰Ûª Funktion für hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit der Belichtungseinstellungen. Das Werkzeug ist für einen ultrahohen Durchsatz von bis zu 10 Wafern pro Stunde ausgelegt, und bis zu 20 Millionen Ausrichtungsaufnahmen können für den zukünftigen Einsatz gespeichert werden. Der Aligner ist für die Kompatibilität mit den meisten Standard- und kundenspezifischen Photolithographiebänken konzipiert, einschließlich solcher mit integrierten optischen Messgeräten. Dies macht es zu einer idealen Wahl für Labore, die ihre Produktivität und Genauigkeit bei der Herstellung von integrierten Schaltungen, Sensoren und anderen Geräten im Mikromaßstab verbessern möchten.
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