Gebraucht CANON PLA 501 #9030687 zu verkaufen

CANON PLA 501
Hersteller
CANON
Modell
PLA 501
ID: 9030687
Mask aligner.
CANON PLA 501 ist ein von CANON Inc. entwickelter Masken-Aligner, der entworfen wurde, um präzise Muster auf einem Wafer mit einem Laser herzustellen. CANON PLA-501 nutzt energiereiche fokussierte Laserstrahlen, um präzise, dreidimensionale Muster mit einer Mindesteigenschaftsgröße von 14 μ m herzustellen. Es zeichnet sich auch durch eine gleichmäßige und zuverlässige Ausrichtung mit optimaler Ätzgenauigkeit und minimaler Reflexion aus. Der maskierte Ausricht- und Belichtungsvorgang wird mit der Doppelstrahleinrichtung durchgeführt. Die im Musterverfahren von PLA 501 verwendeten Strahlen sind 25 μ m/100 μ m, 30 μ m/120 μ m und 40 μ m/160 μ m. Das Doppelstrahlsystem dient zur gleichzeitigen Belichtung von zwei Mustern für zwei verschiedene Prozesse, wodurch PLA-501 in der Lage ist, die Maskenänderungen zu reduzieren und den Durchsatz zu verdoppeln. CANON PLA 501 ist mit einer Laserabstandsvorrichtung ausgestattet, um Fehler aufgrund einer unzureichenden Menge an Laserenergie zu vermeiden. Es ist auch mit einer Laserabtastoptik ausgestattet, die in der Lage ist, die Abtastgeschwindigkeit einstellbar und leicht eingestellt werden kann, ohne dass eine mechanische Einstellung erforderlich ist. Darüber hinaus verfügt das Gerät über eine Präzisionshöhenverstellmaschine, die eine konstante Leistung und hohe Genauigkeit gewährleistet. Es verfügt auch über ein geräuschdämpfendes Werkzeug, das die Wege des Lasers isoliert, um Auflösungsfehler durch Vibrationen und andere Umweltfaktoren zu reduzieren. Die Gesamtspezifikation der Maschine ist benutzerfreundlich und flexibel genug, um sich aufgrund ihrer Software und dedizierten Bedienungsfunktionen an unterschiedliche Produktionsanforderungen anzupassen. Die Software der Maschine ist mit einer rauscharmen Optimierungsfunktion ausgestattet und ist auch in der Lage, die Laserleistung und Belichtungszeit automatisch einzustellen, um die Musterform zu optimieren und das Auftreten von Instabilität zu reduzieren. Insgesamt ist CANON PLA-501 ein zuverlässiger und benutzerfreundlicher Maskenausrichter, der präzise Mustergenauigkeit und Wiederholbarkeit bieten kann. Das Dual Beam Asset und seine Softwarefunktionen machen es zu einer effizienten und zuverlässigen Maschine für die Herstellung von Wafermustern.
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