Gebraucht CANON PLA 521FA #9170315 zu verkaufen

Hersteller
CANON
Modell
PLA 521FA
ID: 9170315
Aligner.
CANON PLA 521FA ist ein Maskenausrichter zur präzisen Herstellung von Halbleiterbauelementen. Es ist eine automatisierte, programmierbare und konfigurierbare Ausrüstung, die in der Lage ist, hochwertige Wafer für ein- und doppelseitige Prozesse zu produzieren. CANON PLA 521 FA verfügt über eine Vollfeld-Ultraviolettbeleuchtung (UV) und ein fortschrittliches Photomasken-/Substratausrichtungssystem. Es ermöglicht eine hochgenaue Fokussierung und Ausrichtung des Substrats mit zwei Kameras und zwei Ausrichtungsmarken auf beiden Seiten des Substrats. Darüber hinaus ist es mit fortschrittlichen Substratträgern ausgestattet, die die thermische Belastung der Substrate reduzieren und die Prozessausbeute verbessern sollen. Darüber hinaus ermöglicht es eine Submikron-Genauigkeitsausrichtung mit einem maximalen Sichtfeld (FOV) von 200x200 mm2. PLA 521FA bietet zwei Modelle an, nämlich Standard und Super. Das Standard-Modell verfügt über eine 13,5-kW-UV-Quecksilberlampe, eine Digital-Analog-Wandler (DAC) -Blende und eine maximale Substratfläche von 800x800mm2. Zum anderen ist das Super-Modell mit einer 30-kW-UV-Xenon-Lampe, einem Analog-Digital-Wandler (ADC) -Verschluss und einer maximalen Substratfläche von 3200x3200mm2 ausgestattet. Mit einer einfach zu bedienenden grafischen Benutzeroberfläche (GUI) bietet PLA 521 FA zudem eine verbesserte Leistung hinsichtlich schnellerer Ausrichtgeschwindigkeit und verbesserter Produktionsausbeute. Es wird mit fortschrittlichen integrierten Software- und Hardwarefunktionen geliefert, die eine schnelle Echtzeit-Ausrichtung sowie einen hochpräzisen Monitor und eine hochpräzise Steuerung mithilfe eines Ausrichtungs- und Bildgebungssystems ermöglichen. Neben seiner führenden Präzisionsgenauigkeit ist CANON PLA 521FA auch außerordentlich robust und langlebig. Es wurde entwickelt, um Korrosion zu widerstehen, die optimale Leistung zu erhalten und die Lebensdauer der Ausrüstung zu maximieren. Außerdem ist sie energieeffizient, da sie den Stromverbrauch im Vergleich zu früheren Modellen um bis zu 40% senken kann. Darüber hinaus ist es vibrationsbeständig und so ausgelegt, dass es in einer staubdichten, licht- und operndichten Umgebung untergebracht werden kann, um eine optimale Leistung zu gewährleisten. Insgesamt ist CANON PLA 521 FA ein außergewöhnlicher Maskenausrichter, perfekt für die hochpräzise Halbleiterherstellung. Die fortschrittlichen Funktionen, der robuste Aufbau und die zuverlässige Leistung machen es zur idealen Wahl für Benutzer, die Präzision und Genauigkeit benötigen.
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