Gebraucht CANON PLA 600 FA #154145 zu verkaufen

Hersteller
CANON
Modell
PLA 600 FA
ID: 154145
Wafergröße: 6"
Mask aligner, 6".
CANON PLA 600 FA ist ein fortschrittlicher automatisierter Maskenausrichter für präzise Lithographieanwendungen. Es eignet sich für eine Vielzahl von Anwendungen, einschließlich Halbleiterbauelementherstellung, Nanotechnologie und mikroelektromechanische Systeme (MEMS). CANON PLA-600FA ist mit einer automatisierten 3D-Ausrichtung und mehreren Laserquellen ausgestattet, wodurch eine präzise und genaue Ausrichtung mehrerer Schichten erreicht wird. Das dreidimensionale (3D) Ausrichtungssystem von PLA 600FA ermöglicht eine präzise Platzierung der Maske und ist damit ein zuverlässiges Werkzeug für präzise lithographische Operationen auf verschiedenen Materialien. Die 3D-Ausrichtung sorgt dafür, dass sowohl das Muster als auch das Substrat genau ausgerichtet werden können. Das Gerät reduziert auch die Ausrichtungschancen und bietet eine verbesserte Ausrichtungsgenauigkeit von 5 μ m. CANON PLA 600FA ist mit einer breiten Palette von Laserquellen ausgestattet, die für die Durchführung von Musterarbeiten an einer Vielzahl von Materialien sehr nützlich sind. Zu diesen Laserquellen gehören ein Excimerlaser, ein Nahinfrarotdiodenlaser und ein Ultrakurzpulslaser. Der Excimerlaser dient in erster Linie zur Verarbeitung von Materialien, die nicht sichtbarem Licht ausgesetzt werden können, wie die SiO2-Schicht eines Halbleiterbauelements. Der Nahinfrarotdiodenlaser ist ein leistungsstarkes Werkzeug zum Laserschneiden, Mustern und Ätzen, während der Ultrakurzpulslaser hervorragend für Feinmusteroperationen geeignet ist. Die Maschine bietet auch eine Vielzahl von lithographischen Verfahren, die für eine Vielzahl von Anwendungen eingesetzt werden können, einschließlich Kontaktlithographie und Näherungslithographie. Das Kontaktierungslithographie-Verfahren eignet sich ideal für kleine Muster, wie sie in MEMS verwendet werden, während das Näherungslithographie-Verfahren ideal für großflächige Lithographie-Operationen ist. Darüber hinaus ist PLA 600 FA in der Lage, die Belichtungsdosis zu kontrollieren und hat eine Mindestlinienbreite von 5 um. Schließlich ist PLA-600FA einfach zu bedienen und somit sowohl für kleine als auch für große Lithographieanwendungen geeignet. Das Werkzeug verfügt auch über alle notwendigen Komponenten, um einen reibungslosen Betrieb zu ermöglichen, wie eine Kammer, einen Schrittmotor und eine Software, die leicht vom Benutzer bedient werden kann. Darüber hinaus wird das Asset mit einem Remote-Controller geliefert, mit dem Benutzer die Parameter des Modells fernsteuern können.
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