Gebraucht CANON PLA 600 FA #33364 zu verkaufen

Hersteller
CANON
Modell
PLA 600 FA
ID: 33364
Wafergröße: 4"-6"
Aligner, 4"-6" 500W UV / DUV Illumination system Print resolution: 1 mu.
CANON PLA 600 FA ist ein Masken-Aligner, der speziell für den Einsatz in der Photolithographie entwickelt wurde. Dieses Gerät verfügt über eine benutzerfreundliche Schnittstelle und eignet sich für Anwendungen wie Halbleiterbauelementherstellung, organische und anorganische Dünnschichtabscheidung und Replikation. Der Masken-Aligner misst 1060 × 830 mm und hat eine optimale Produktivität von 6.000 Wafern pro Stunde. Es ist mit zwei motorisierten Maskenstufen ausgestattet, die sich unabhängig voneinander bewegen, um die Produktivität zu maximieren. Darüber hinaus verwendet der Masken-Aligner einen erweiterten Kontrollmechanismus, der präzise und wiederholbare Lithographie-Prozesse ermöglicht. CANON PLA-600FA wird von zwei Laserquellen angetrieben: einem sichtbaren Argon-Ionen-Laser und einer ultravioletten (UV) Xenon-Blitzlampe. Der Argonionenlaser bietet einen breiten Wellenlängenbereich von 504-514 Nanometern und eine optische Auflösung von < 2 Mikrometern. Mit der UV-Xenon-Blitzlampe wird das Resistmuster bei einer Wellenlänge von 248 Nanometern erzeugt und untersucht. Das Gerät verfügt auch über die ultra-hochpräzise Pre-Alignment Unit, die die Maske durch Messen von Musteranpassungspunkten und Erkennen von Verzerrungen genau auf den Wafer positioniert. Dieser Masken-Aligner ist mit einem DSP (Digital Signal Processing) -System ausgestattet, mit dem Benutzer die Bildgröße, Position und Verformung steuern können. Es ermöglicht Benutzern auch, hochpräzise Muster mit einer hohen Geschwindigkeit, hochpräzise Ausrichtungsgenauigkeit zu erstellen. Die automatisierte Ausrichtung und Abbildung erfolgt mit einem 4-Achsen-Motor, der eine schnelle und genaue Positionierung ermöglicht. Das Gerät ist auch in der Lage, extrem kleine Partikel, bis zu 2 Mikrometer Größe zu detektieren. PLA 600FA verfügt auch über einen fortschrittlichen numerischen Optimierungsalgorithmus, der die Prozessausbeute verbessert und die Lithographiezeit reduziert. Es verfügt außerdem über eine aufgabenspezifische Funktion, mit der Benutzer Aufgaben bestimmten Einheiten zuordnen und das System automatisch für jede Aufgabe optimieren können. Darüber hinaus verfügt CANON PLA 600FA über ein integriertes Diagnose- und Selbstdiagnosesystem, mit dem Anwender problemlos diagnostizieren und fehlerbeheben können. Schließlich ist PLA 600 FA eine ausgezeichnete Wahl für photolithographische Prozesse, die eine hohe Genauigkeit und schnelle Verarbeitung erfordern. Dieses Gerät ist ideal für industrielle Anwendungen und zuverlässig, effizient und kostengünstig.
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