Gebraucht CANON PLA 600 FA #9015364 zu verkaufen

CANON PLA 600 FA ist ein fortschrittlicher Fotolithographie-Masken-Aligner von CANON ASIA. Seine fortschrittliche Technologie wurde entwickelt, um eine hochgenaue und zuverlässige Maskenausrichtung für Produkte bereitzustellen, die eine hohe Präzision im Lithographieprozess erfordern. CANON PLA-600FA ist konstruiert, um Ausrichtungen zwischen Wafermasken und Wafer- oder Substratoberflächen zu unterstützen. Es besteht aus Hauptkomponenten wie einer Luftlagerstufe, einer Photorezeptorstufe, einer Lichtdetektionsstufe und einer Wafertransporteinheit, die alle für eine präzise Ausrichtung ausgelegt sind. Die Luftlagerstufe bietet eine optimale Arbeitsumgebung für die Masken- und Waferstufe. Dies wird durch die Miniatur-Luftlagerkartuschen erreicht, die zu einer geringen Rauhigkeit der Elastomerschicht für eine extrem glatte und genaue Bewegung beitragen. Darüber hinaus wird ein In-Plane-Stage-Motion-System, bestehend aus zwei linearen Führungsschienen, verwendet, um eine hochgenaue Stufenfahrt und Positionierung zu gewährleisten. Die Photorezeptorstufe ist so konzipiert, dass sie eine genaue Abbildung zwischen Wafern und Maskenmustern ermöglicht. Dies wird durch den Schrittmotor-Zoommechanismus ermöglicht, der in der Lage ist, ein Sichtfeld bis zu 700 Mikrometer mit hoher Genauigkeit bereitzustellen. Darüber hinaus erfasst ein integriertes Bildgebungssystem Bilder aus vier Aufnahmewinkeln und eine Dual-UV-IR-Lichtquelle beleuchtet die Wafer- und Maskenstufe zu Inspektionszwecken. Die Lichtdetektionsstufe ist auf Langzeitstabilität ausgelegt. Dies wird durch einen berührungslosen optischen Leistungsdetektor erreicht, der die vom Wafer emittierte Lichtintensität und die Masken genau erfasst, um eine genaue Ausrichtung zu gewährleisten. Schließlich ermöglicht die Wafertransporteinheit eine schnelle und effiziente Bewegung des Wafers und der Masken. Dies wird durch die Verwendung von variablen Steigungsspulen ermöglicht, die zu einer größeren Glätte als herkömmliche Leitungsschraubensysteme beitragen. Insgesamt ist PLA 600FA ein fortschrittlicher, hochpräziser und zuverlässiger Maskenausrichter. Seine fortschrittliche Technologie wurde entwickelt, um eine hochgenaue und zuverlässige Ausrichtung zwischen Wafermasken und Wafer- oder Substratoberflächen zu gewährleisten.